特許
J-GLOBAL ID：200903067890256220
高周波領域で使用するプロ-ブ
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
稲垣 仁義
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-261213
公開番号（公開出願番号）：特開平10-090304
出願日： 1996年09月11日
公開日（公表日）： 1998年04月10日
要約：
【要約】【課題】インピ-ダンスを所望の特性に容易に設定することができると共に、微小なピッチ間隔を検査するフアインピッチのプロ-ブに構成しても、高周波のロス及び直流抵抗値を小さくすることができる積層プロ-ブを提供する。【解決手段】電極及びグラウンドを金属製薄板で形成し、該電極を誘電体(絶縁体)を介してグラウンドでサンドイッチする。
請求項（抜粋）：
電極及びグラウンドを金属製薄板で形成し、該電極を誘電体(絶縁体)を介してグラウンドでサンドイッチしたことを特徴とする高周波領域で使用するプローブ。
FI (2件)：
G01R 1/073 D
, G01R 1/073 F
