特許
J-GLOBAL ID：200903067931095130
石英ガラス部材及びその評価方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-082901
公開番号（公開出願番号）：特開平7-291644
出願日： 1994年04月21日
公開日（公表日）： 1995年11月07日
要約：
【要約】【目的】 エキシマレーザーステッパーやその他の高出力パルスレーザーの光学系の寿命を短縮させることのない、耐レーザー性に優れた石英ガラス部材を提供する。【構成】 レーザーの繰り返し周波数が増大しても吸収係数の変化量が増加しない、つまり、繰り返し周波数を増加させると耐レーザー性が向上する石英ガラスを400nm以下の特定波長領域の高出力パルスレーザーの光学系に使用する。
請求項（抜粋）：
400nm以下の特定波長領域の高出力パルスレーザーの光学系に使用される石英ガラス部材において、前記レーザーの光を照射する前の190nm〜400nmの波長領域での内部透過率が99.9%以上であり、且つ前記レーザーを照射したときの照射パルス数に対する215nmの吸収係数の変化量が、前記レーザーの繰り返し周波数に関わらず一定であることを特徴とする石英ガラス部材。
IPC (6件)：
C03B 20/00
, C03C 3/06
, G01M 11/00
, G01N 21/01
, G02B 1/02
, H01S 3/17
