外観検査装置

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-340241
公開番号（公開出願番号）：特開2001-153621
出願日： 1999年11月30日
公開日（公表日）： 2001年06月08日
要約：

【要約】【課題】肉眼で観察した場合と類似した映像を観察でき、また、撮影画像の観察によって同一種類の検査試料におけるロット毎のバラツキや変化を認識しやすくする。【解決手段】同一検査試料について撮像条件を変えて撮像した複数の画像、または同じ種類の異なる検査試料について撮像条件を同一にして撮像した複数の画像を入力する画像入力手段と、入力された画像から3枚のモノクロ画像を1組とする異なる複数組の画像を作成する画像作成手段と、各組の3枚のモノクロ画像をそれぞれR,G,Bとして1枚の疑似カラー画像を合成するカラー画像合成手段と、該カラー画像合成手段により合成された複数枚の疑似カラー画像をカラーモニタに切換え表示する表示手段と、を備えることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

同一検査試料について撮像条件を変えて撮像した複数の画像、または同じ種類の異なる検査試料について撮像条件を同一にして撮像した複数の画像を入力する画像入力手段と、入力された画像から3枚のモノクロ画像を1組とする異なる複数組の画像を作成する画像作成手段と、各組の3枚のモノクロ画像をそれぞれR,G,Bとして1枚の疑似カラー画像を合成するカラー画像合成手段と、該カラー画像合成手段により合成された複数枚の疑似カラー画像をカラーモニタに切換え表示する表示手段と、を備えることを特徴とする外観検査装置。

IPC (3件)：

G01B 11/06 , G06T 7/00 , H01L 21/66

FI (4件)：

G01B 11/06 H , H01L 21/66 J , H01L 21/66 P , G06F 15/62 405 A

Fターム (46件)：

2F065AA30 , 2F065AA49 , 2F065AA56 , 2F065BB02 , 2F065BB03 , 2F065CC19 , 2F065CC31 , 2F065DD00 , 2F065FF04 , 2F065GG02 , 2F065GG25 , 2F065JJ03 , 2F065JJ26 , 2F065LL22 , 2F065MM03 , 2F065NN06 , 2F065QQ24 , 2F065QQ34 , 2F065SS02 , 2F065SS13 , 4M106AA01 , 4M106BA20 , 4M106CA39 , 4M106CA48 , 4M106CA55 , 4M106DB04 , 4M106DB07 , 4M106DB30 , 4M106DJ04 , 4M106DJ15 , 4M106DJ21 , 4M106DJ23 , 5B057AA03 , 5B057BA02 , 5B057BA15 , 5B057CA02 , 5B057CA12 , 5B057CA16 , 5B057CB01 , 5B057CB07 , 5B057CB12 , 5B057CB16 , 5B057CC01 , 5B057CE08 , 5B057CE14 , 5B057DA03

引用特許：

審査官引用 (9件)

膜厚検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-105430 出願人：オリンパス光学工業株式会社
実装部品検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-078423 出願人：日立電子株式会社
特開昭59-109087

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