特許
J-GLOBAL ID：200903068042796432
レーザ光ビームの整形方法およびレーザ光薄膜結晶化装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
横井 幸喜
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-330224
公開番号（公開出願番号）：特開2001-148355
出願日： 1999年11月19日
公開日（公表日）： 2001年05月29日
要約：
【要約】【課題】 レーザ光のビーム形状を容易かつ確実に整形する。【解決手段】 レーザ光2をシリンドリカルレンズ7、10...10複数本からなるホモジナイザ5を通して被照射物9に照射する際、レーザ光2の一部を遮蔽物16等で遮光又は減衰する。【効果】 レーザ光のビーム形状が確実にかつ容易に整形され、良質の結晶化薄膜の製造に適用することができる。
請求項（抜粋）：
レーザ光源から発せられたレーザ光をシリンドリカルレンズ複数本からなるホモジナイザを通して被照射物に照射する際に、レーザ光源と被照射物との間でレーザ光の一部を遮光又は減衰することによって被照射物に照射されるレーザ光のビーム形状を整形することを特徴とするレーザ光ビームの整形方法
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/268 J
, H01L 21/20
5F052AA02
, 5F052BA07
, 5F052BA12
, 5F052BB07
