特許
J-GLOBAL ID:200903068054648200

光源調整装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (5件): 鈴江 武彦 ,  村松 貞男 ,  坪井 淳 ,  河野 哲 ,  風間 鉄也
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-180137
公開番号(公開出願番号):特開2004-021206
出願日: 2002年06月20日
公開日(公表日): 2004年01月22日
要約:
【課題】定量的に光源の調整を行うことができる光源調整装置を提供する。【解決手段】光源2の像を対物レンズ10の瞳10aの位置に投影させるコレクタレンズ4を有するケーラー照明系を有し、コレクタレンズ4をフォーカス調整部3により光軸方向に移動させるとともに、コレクタレンズ4を介して光源2からの光が照射される試料11からの光をCCDカメラ12で撮影し、この撮影した画像データから光強度を取り出し光量むらを演算部13で演算し、この結果を表示部14に表示する。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
光源と、 前記光源からの光を集光するコレクタレンズを有するケーラー照明系と、 前記コレクタレンズを光軸方向に移動させるコレクタレンズ移動手段と、 前記コレクタレンズを介して前記光源からの光が照射される試料と、 前記試料からの光を撮影する撮像手段と、 前記撮像手段で取得された画像データから光強度を取り出し光量むらを演算する演算手段と、 前記演算手段の演算結果を表示する表示手段と を具備したことを特徴とする光源調整装置。
IPC (5件):
G02B21/00 ,  G02B19/00 ,  G02B21/06 ,  G02B21/36 ,  G02B27/00
FI (5件):
G02B21/00 ,  G02B19/00 ,  G02B21/06 ,  G02B21/36 ,  G02B27/00 V
Fターム (9件):
2H052AA09 ,  2H052AC02 ,  2H052AC04 ,  2H052AC27 ,  2H052AC31 ,  2H052AD05 ,  2H052AF14 ,  2H052AF21 ,  2H052AF25
引用特許:
審査官引用 (3件)

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