特許
J-GLOBAL ID：200903068209152850

蒸着マスクとその製造方法

発明者：
小林 良弘

小林 良弘 について


出願人/特許権者：
九州日立マクセル株式会社

九州日立マクセル株式会社 について


代理人 (1件)： 折寄 武士
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-352701
公開番号（公開出願番号）：特開2005-015908
出願日： 2003年10月10日
公開日（公表日）： 2005年01月20日
要約：
【課題】マスク本体2と枠体3との良好な接合状態を長期にわたって維持することができ、従って、蒸着層の再現精度の信頼性向上に寄与できる蒸着マスク1およびその製造方法を提供する。【解決手段】マスク本体2のパターン形成領域4の外周縁4aと枠体3とを、電鋳法により形成された電着金属層9で不離一体的に接合する。これにて、従来例の形態のごとく、マスク本体2と枠体3とを接着剤層で接合する形態では不可避であった、洗浄処理等において使用される有機溶媒が接着剤層に作用することに起因する接着剤層の変質を効果的に防いで、マスク本体2と枠体3との間の良好な接合状態を長期に渡ってよく維持できる。従って、熱影響によるマスク本体2の寸法変化、形状変化を阻止するという枠体3の機能を良好に担保でき、均一な形状を有する蒸着層を高精度に再現性良く形成できる。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
多数独立の蒸着通孔5からなる蒸着パターン6をパターン形成領域4内に備えるマスク本体2と、 マスク本体2の外周に配置された、低熱線膨張係数の材質からなるマスク本体2の補強用の枠体3とからなり、 マスク本体2のパターン形成領域4の外周縁4aと枠体3とを、電鋳法により形成された電着金属層9を介して不離一体的に接合してあることを特徴とする蒸着マスク。
IPC (5件)：
C25D1/00 ,  C23C14/24 ,  C25D1/08 ,  H05B33/10 ,  H05B33/14
FI (5件)：
C25D1/00 381 ,  C23C14/24 G ,  C25D1/08 ,  H05B33/10 ,  H05B33/14 A
Fターム (10件)：
3K007AB18 ,  3K007DB03 ,  3K007FA01 ,  4K029CA01 ,  4K029DB00 ,  4K029HA01 ,  4K029HA02 ,  4K029HA03 ,  4K029HA04 ,  4K029HA07
引用特許：
出願人引用 (1件)
  • 蒸着用マスク
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-184601   出願人：株式会社オプトニクス精密
審査官引用 (6件)
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