特許
J-GLOBAL ID：200903068223517292
純粋でないアルゴンの回収精製方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
石田 敬 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-043882
公開番号（公開出願番号）：特開平10-007410
出願日： 1997年02月27日
公開日（公表日）： 1998年01月13日
要約：
【要約】【課題】 シリコン結晶成長炉からの純粋でないアルゴン流出物を低温工学を利用して再循環させる方法の二つの態様を提供する。【解決手段】 第一の態様は低温(cryogenic)蒸留技術を使用し、第二の態様は低温吸着を使用して、両方とも、それらの低温処理工程ととともに触媒による処理と吸着を使用してシリコン結晶成長炉のために純粋アルゴンの再循環流を提供する。
請求項（抜粋）：
(1)純粋でないアルゴンを酸素除去(deoxygenation)触媒及び水素と接触させて含有されている酸素を除去する工程、(2)当該純粋でないアルゴンをその純粋でないアルゴンから水と二酸化炭素を吸着するのに対して選択性のあるゼオライト吸着剤と接触させて当該純粋でないアルゴンから水と二酸化炭素を除去する工程、(3)当該純粋でないアルゴンを低温分離で更に精製して当該純粋でないアルゴンから残留している不純物を取り除き、そして純度が少なくとも99.5容量%のアルゴン製品流を製造する工程、を使用して、シリコン結晶成長炉からの残留ドーパントを含有している純粋でないアルゴンを回収及び精製するための方法であって、純粋でないアルゴンを液体吸収剤と接触させて当該純粋でないアルゴンからドーパントを取り除くことにより工程(1)の前に純粋でないアルゴンからドーパントを除去することを特徴とする純粋でないアルゴンの回収精製方法。
IPC (5件)：
C01B 23/00
, B01D 53/04
, B01D 53/14 102
, F25J 3/08
, C30B 15/00
C01B 23/00 J
, C01B 23/00 L
, B01D 53/04 J
, B01D 53/14 102
, F25J 3/08
, C30B 15/00 Z
