特許
J-GLOBAL ID:200903068323234603

活性結合剤を有する超砥石

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (5件): 石田 敬 ,  鶴田 準一 ,  田崎 豪治 ,  西山 雅也 ,  樋口 外治
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-328109
公開番号(公開出願番号):特開2005-118994
出願日: 2004年11月11日
公開日(公表日): 2005年05月12日
要約:
【課題】 シリコンウエハおよびアルミナー炭化チタンパックの切断のようなエレクトロニクス産業で利用され、金属への砥粒の科学的結合とともに剛性の高い砥石を提供する。【解決手段】 硬く剛性の砥粒、ならびに金属成分および活性金属成分を含む焼結結合剤から形成し、金属成分は多くの焼結可能な金属組成物から選択され、活性金属は焼結条件で砥粒と反応して結合を形成しうる金属であり,砥粒および焼結結合剤を砥粒強化複合材として結合する。ダイヤモンド砥粒、銅/スズ/チタン焼結結合剤砥石が好適である。【選択図】 なし
請求項(抜粋):
約20〜2500μmの範囲の均一な幅を有する、平形の砥粒強化研磨ディスクからなる砥石であり、約2.5〜50 vol%の砥粒、ならびに焼結の際に砥粒と化学結合を形成し、金属成分と活性金属とを含む、補充的量の結合剤から本質的になり、活性金属および砥粒は同一であるが活性金属を含まない組成の研磨ディスクの弾性率値よりも少くとも24%高い弾性率値を有する砥粒強化研磨ディスクを製造するのに有効な量で存在する、砥石。
IPC (2件):
B24D3/06 ,  B24D3/02
FI (2件):
B24D3/06 A ,  B24D3/02 310A
Fターム (9件):
3C063AA02 ,  3C063AB07 ,  3C063BB02 ,  3C063BC02 ,  3C063BD01 ,  3C063BG06 ,  3C063EE10 ,  3C063EE31 ,  3C063FF23
引用特許:
審査官引用 (16件)
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