特許
J-GLOBAL ID：200903068324297340
ディスプレイパネルの生産プロセスにおける異物検査方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
山崎 宏
, 前田 厚司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-276237
公開番号（公開出願番号）：特開2006-105976
出願日： 2005年09月22日
公開日（公表日）： 2006年04月20日
要約：
【課題】被検査物体の異物が特定される大きさを大きくでき、かつ検出精度の高い異物検出方法を提供する。【解決手段】先ず、レーザー光源と、水平および水平の両方向の移動を与えるために調整可能治具104に支持されているレーザー検出器とを測定される被検査物102の第1側に設ける。そして、被検査物102の第2側にレーザー反射装置を設け、レーザー発生源から、被検査物の表面の上の検出位置を通過して到来したレーザービーム107を、レーザー反射装置108によりレーザー検出器に向かって反射する。続いて、レーザー検出器によって、フィードバックライトビーム109の強度を受光して測定する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
ディスプレイパネルの生産プロセスにおける異物検査方法であって、
レーザー光源およびレーザー検出器を被検査物の第1側に取り付け、
ここで、前記レーザー検出器は、該レーザー検出器の位置を水平および垂直の両方向に調節するために調整可能治具に取り付け、
前記被検査物の第2側に反射装置を設け、
前記レーザー光源を使用して、前記反射装置に対して前記被検査物の上に位置する検出位置を通過するレーザービームを照射し、前記反射装置によりフィードバックライトビームを形成し、
前記フィードバックライトビームを前記レーザー検出器で受光し、
前記フィードバックライトビームの強度を検出することを含むディスプレイパネルの生産プロセスにおける異物検査方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N21/88 Z
, G01M11/00 T
2G051AA73
, 2G051AB01
, 2G051BA10
, 2G051CB01
, 2G051CC11
, 2G051DA07
, 2G086EE10
, 2H088FA11
, 2H088FA24
, 2H088FA30
, 2H088MA16
