特許
J-GLOBAL ID：200903068376906026
光学部品およびレーザ光照射装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-150989
公開番号（公開出願番号）：特開2004-354604
出願日： 2003年05月28日
公開日（公表日）： 2004年12月16日
要約：
【課題】入射光と被処理基板裏面からの反射光との干渉を防ぎ、また反射光による光学部品への損傷を抑制できるようなレーザ光照射装置、及びそれに用いる光学部品を提供すること。【解決手段】本発明の光学部品は、レンズを固定するための光学部品であって、基部と、留具と、締結具とで構成されている。前記基部は、曲部を有する凹型の形状の側面と、複数の第1の挿入孔とを有する。また、前記留具は、円筒形であり、上面または下面の少なくともひとつの面の中心部を貫通する第2の挿入孔を有する。前記基部のうち、前記側面の縁から内側に延びた部分であり、且つ前記挿入孔のいずれとも外接する円を描いたときに前記円の内側に相当する部分の一部と、前記留具とによって、前記レンズは挟まれ、前記第1の挿入孔と前記第2の挿入孔とに挿入した前記締結具により、前記基部と前記留具とは締結される。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
レンズを固定するための光学部品であって、
曲部を有する凹型の側面と、複数の第1の挿入孔とを有する基部と、
円筒形であり、上面または下面の少なくともひとつの面の中心部を貫通する第2の挿入孔を有する留具と、
締結具とを有し、
前記基部のうち、前記側面の縁から内側に延びた部分であり、且つ前記挿入孔のいずれとも外接する円を描いたときに前記円の内側に相当する部分の一部と、
前記留具とによって、前記レンズが挟まれ、
前記第1の挿入孔と前記第2の挿入孔とに挿入した前記締結具により、前記基部と前記留具とが締結されることを特徴とする光学部品。
IPC (4件)：
G02B7/02
, H01L21/20
, H01L21/268
, H01S3/00
G02B7/02 A
, H01L21/20
, H01L21/268 J
, H01S3/00 A
2H044AA09
, 5F052AA02
, 5F052BA07
, 5F052BB04
, 5F052CA07
, 5F052DA02
, 5F052DA03
, 5F052JA01
, 5F072AB20
, 5F072JJ20
, 5F072KK30
, 5F072MM09
, 5F072QQ02
, 5F072YY08
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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