特許
J-GLOBAL ID：200903068385889002
構造物の性質を測定する装置及び方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
伊東 忠彦
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-551218
公開番号（公開出願番号）：特表2002-516984
出願日： 1999年05月27日
公開日（公表日）： 2002年06月11日
要約：
【要約】少なくとも一層(10)を有する構造物の性質を測定する方法及び装置を開示する。装置は、光学パルス(12)を発生させるレーザ(52)と、前記光学パルスを少なくとも二つの励起パルス(12’、12’’)に分割するビームスプリッタ(62)と、前記構造物上に又は前記構造物中に前記励起パルスを空間的及び一時的に重ねて、前記構造物の性質を変化させる、例えば時間依存表面リプル(17a、17b)を発生する音波を発する励起パターン(15)を形成する光学システム(70)と、プローブビーム(20)を発振させて信号ビーム(20’)を発生させる光源(54)とを具備する。ビームスプリッタのような回折素子を利用することにより、前記構造物に上記素子の像を写し、信号ビームとして前記構造物により反射されたプローブビームを利用することにより、正確で、且つ信頼性のある測定を実行することが可能となる。
請求項（抜粋）：
光学パルスを発生させるレーザと、 前記光学パルスを受け、前記光学パルスを分割させて少なくとも二つの励起パルスを発生させるビームスプリッタと、 前記少なくとも二つの励起パルスを受け、前記構造物上又は前記構造物中に前記パルスを空間的及び一時的に重ね、音波を、電子的応答を、若しくは前記構造物の少なくともある部分を変化させる熱的応答を発する励起パターンを形成する光学システムと、 前記構造物の前記部分を感知して信号ビームを発生させるプローブビームを発生させる光源と、 前記信号ビームを受け、応答して光誘導電気信号を発生させる光学的検出システムと、 前記光誘導電気信号を解析して前記構造物の性質を測定するアナライザーとからなる構造物の性質を測定する装置であって、前記ビームスプリッタは回折素子であり、前記信号ビームは前記部分により反射されたプローブビームにより構成されることを特徴とする装置。
IPC (4件)：
G01N 29/00 501
, G01B 11/06
, G01B 21/08
, G01N 25/16
G01N 29/00 501
, G01B 11/06 Z
, G01B 21/08
, G01N 25/16 C
2F065AA30
, 2F065FF51
, 2F065GG06
, 2F065JJ05
, 2F065JJ18
, 2F065LL42
, 2F069AA46
, 2F069GG07
, 2G040AA07
, 2G040AB07
, 2G040BA08
, 2G040BA25
, 2G040EA04
, 2G040EA06
, 2G040EC02
, 2G047AA06
, 2G047BC14
, 2G047BC18
, 2G047BC20
, 2G047CA04
