特許
J-GLOBAL ID：200903068407208330

電子顕微鏡応用装置および試料検査方法

発明者：
小山 光

小山 光 について

, 
牧野 浩士

牧野 浩士 について

, 
佐藤 貢

佐藤 貢 について


出願人/特許権者：
株式会社日立ハイテクノロジーズ

株式会社日立ハイテクノロジーズ について


代理人 (1件)： 筒井 大和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-158282
公開番号（公開出願番号）：特開2006-338881
出願日： 2005年05月31日
公開日（公表日）： 2006年12月14日
要約：
【課題】電子顕微鏡応用装置および試料検査方法において、試料の帯電を制御することができる技術を提供する。【解決手段】光電子2を放出する帯電制御電極4を、ウェハ3(試料)の直上に平行に配置し、且つ、帯電制御電極4を通して紫外光をウェハ3に照射できるように、貫通する孔を持つ構造とした。具体的には、メッシュ形状もしくは1つあるいは複数の孔が開いた金属板を帯電制御電極4とする。帯電制御電極4を試料の直上に平行に設置することで、負電圧を印加した場合、ウェハ3に対してほぼ垂直に電界が発生する為、光電子2が効率良くウェハ3に吸着する。また、ウェハ3と同程度の大きさを持つ帯電制御電極4を使用する事で、ウェハ3全面の帯電を一括で均一に除去でき、処理にかかる時間を短縮することができる。【選択図】図5
請求項（抜粋）：
試料の上部に設置した電極および前記試料に紫外光を照射し、前記電極と前記試料との間に印加した電界により、前記電極および前記試料から発生する光電子の前記試料への入射を制御する手段を有し、 前記試料の帯電を任意の電位に設定できることを特徴とする電子顕微鏡応用装置。
IPC (5件)：
H01J 37/28 ,  G01B 15/00 ,  G01N 23/225 ,  H01J 37/20 ,  H01L 21/66
FI (5件)：
H01J37/28 B ,  G01B15/00 B ,  G01N23/225 ,  H01J37/20 H ,  H01L21/66 J
Fターム (36件)：
2F067AA21 ,  2F067AA45 ,  2F067BB04 ,  2F067CC17 ,  2F067EE14 ,  2F067HH06 ,  2F067JJ05 ,  2F067KK04 ,  2F067LL16 ,  2F067PP12 ,  2F067QQ02 ,  2G001AA03 ,  2G001AA07 ,  2G001BA07 ,  2G001BA08 ,  2G001CA03 ,  2G001GA06 ,  2G001HA13 ,  2G001JA01 ,  2G001JA07 ,  2G001JA11 ,  2G001KA03 ,  2G001LA11 ,  2G001MA05 ,  2G001PA11 ,  2G001QA01 ,  2G001RA10 ,  4M106AA01 ,  4M106BA02 ,  4M106BA07 ,  4M106CA39 ,  4M106DB05 ,  4M106DB07 ,  5C001BB07 ,  5C001CC04 ,  5C033UU03
引用特許：
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (6件)
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