特許
J-GLOBAL ID：200903068430438459
マイクロメカニカル共振器
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
西岡 伸泰
, 杉岡 佳子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-279083
公開番号（公開出願番号）：特開2008-099020
出願日： 2006年10月12日
公開日（公表日）： 2008年04月24日
要約：
【課題】共振周波数の微調整を行なうことが可能なマイクロメカニカル共振器を提供する。【解決手段】本発明に係るマイクロメカニカル共振器は、基板9上に両端部が支持された共振ビーム52と、該共振ビーム52の両端部間の軸部に対向して配置された2つの電極1、2とを具え、共振ビーム52の両端部間にて、一方の電極1と共振ビーム52とが互いに対向して、1或いは複数のギャップ部が形成されると共に、他方の電極2と共振ビーム52とが互いに対向して、1或いは複数のギャップ部が形成される。ここで、共振ビーム52の両端部の内、少なくとも何れか一方の端部は、共振ビーム52の軸方向とは直交する面内での移動が拘束されると共に、共振ビーム52の軸方向の変位は可能に支持されており、該端部と対向してバイアス電極4が配備され、該バイアス電極4に印加すべきバイアス電圧の調整が可能となっている。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
基板(9)上に両端部が支持された共振ビーム(52)と、該共振ビーム(52)の両端部間の軸部に対向して配置された2つの電極(1)(2)とを具え、共振ビーム(52)の両端部間にて、一方の電極(1)と共振ビーム(52)とが互いに対向して、1或いは複数のギャップ部が形成されると共に、他方の電極(2)と共振ビーム(52)とが互いに対向して、1或いは複数のギャップ部が形成され、高周波信号の入力により何れか一方若しくは両方の電極(1)(2)と共振ビーム(52)との間に交番静電気力を発生させて共振ビーム(52)に振動を与え、何れか一方若しくは両方の電極(1)(2)と共振ビーム(52)との間の静電容量の変化を高周波信号として出力するマイクロメカニカル共振器において、
前記共振ビーム(52)の両端部の内、少なくとも何れか一方の端部は、共振ビーム(52)の軸方向とは直交する面内での移動が拘束されると共に、共振ビーム(52)の軸方向の変位は可能に支持されており、該端部と対向してバイアス電極(4)が配備され、該バイアス電極(4)にバイアス電圧を印加することが可能であることを特徴とするマイクロメカニカル共振器。
IPC (3件)：
H03H 9/24
, H03H 9/00
, B81B 3/00
H03H9/24 Z
, H03H9/00
, B81B3/00
