特許

J-GLOBAL ID：200903068432347248

表面抵抗測定装置および方法

発明者： 神田 正 ,  大嶋 重利 ,  岡井 大祐
出願人/特許権者： 株式会社日立国際電気
代理人 (1件)： 龍華 明裕
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-245041
公開番号（公開出願番号）：特開2003-057276
出願日： 2001年08月10日
公開日（公表日）： 2003年02月26日
要約：

【要約】【課題】Q値と表面抵抗との関係が解析的に求められない特殊形状の試料について、表面抵抗を求める。【解決手段】表面抵抗測定装置10は、接地板40と、接地板の上に配され、その上に試料44が設置される誘電体42と、これらを収容するキャビティ14と、試料44と直接的に接触しない状態で、キャビティ14内に挿入されるアンテナ46、48と、アンテナ46に所定の周波数を与えて、アンテナ48の検出から試料44の共振の鋭さを測定する共振計測部20と、共振計測部20により測定された共振の鋭さから、試料44と同一形状であって、表面抵抗と共振の鋭さとの関係が既知である参照試料に基づいて、試料44の表面抵抗を求める表面抵抗計算部24とを備える。

請求項（抜粋）：

試料の表面抵抗を計測する表面抵抗計測装置であって、接地板と、前記接地板の上に配され、その上に前記試料が設置される誘電体と、前記接地板、前記誘電体および前記試料を収容するキャビティと、前記試料と直接的に接触しない状態で、前記キャビティ内に挿入されるアンテナと、前記アンテナに所定の周波数を与えて、前記アンテナの検出から前記試料の共振の鋭さを測定する共振計測部と、前記共振計測部により測定された共振の鋭さから、前記試料と同一形状であって、表面抵抗と共振の鋭さとの関係が既知である参照試料に基づいて、前記試料の表面抵抗を求める表面抵抗計算部とを備えることを特徴とする表面抵抗計測装置。

IPC (2件)：

G01R 27/02 ,  G01N 22/00

FI (3件)：

G01R 27/02 R ,  G01N 22/00 J ,  G01N 22/00 V

Fターム (7件)：

2G028AA01 ,  2G028AA02 ,  2G028BC01 ,  2G028CG02 ,  2G028DH15 ,  2G028DH21 ,  2G028EJ01

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 表面抵抗の測定方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-168635   出願人：京セラ株式会社
• 特開平1-321376
  
• 表面抵抗測定用治具およびその測定系構成方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-023150   出願人：株式会社村田製作所