特許
J-GLOBAL ID：200903072077858268
表面抵抗の測定方法
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-168635
公開番号（公開出願番号）：特開平11-014558
出願日： 1997年06月25日
公開日（公表日）： 1999年01月22日
要約：
【要約】【課題】高周波領域において、簡易、高精度に測定することができる導体の表面抵抗の測定方法を提供する。【解決手段】所定間隔Hをもって配設された一対の導体1a、1b間に、高さHの誘電体材料からなる第1の誘電体5aを配設して第1の標準共振器R1 を形成し、第1の標準共振器R1 により生成された共振波形から共振周波数f1 および無負荷Q、Q1 を測定する工程と、所定間隔Hをもって配線された一対の導体間に、高さがHよりも小さく第1の誘電体5aと同一材料からなる第2の誘電体5bを配設して第2の標準共振器R2 を形成し、第2標準共振器R2 により生成された共振波形から共振周波数f2 および無負荷Q、Q2 を測定する工程と、第1および第2の標準共振器R1 、R2 により測定された共振周波数f1 、f2 および無負荷Q、Q1 、Q2 に基づき、導体1a、1bのの表面抵抗を算出する。
請求項（抜粋）：
所定間隔Hをもって配設された一対の導体間に、高さHの誘電体材料からなる第1の誘電体を配設して第1の標準共振器を形成し、該第1の標準共振器により生成された共振波形から共振周波数f1 および無負荷Q、Q1 を測定する工程と、所定間隔Hをもって配線された一対の導体間に、高さがHよりも小さい前記第1の誘電体と同一材料からなる第2の誘電体を配設して第2の標準共振器を形成し、該第2の標準共振器により生成された共振波形から共振周波数f2 および無負荷Q、Q2 を測定する工程と、前記第1および第2の標準共振器により測定された共振周波数f1 、f2 および無負荷Q、Q1 、Q2 に基づき、前記導体の表面抵抗を算出することを特徴とする表面抵抗の測定方法。
IPC (3件)：
G01N 22/00
, G01R 27/02
, G01R 27/26
G01N 22/00 Y
, G01N 22/00 G
, G01R 27/02 R
, G01R 27/26 Q
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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