特許

J-GLOBAL ID：200903068452746602

結晶成長装置および製造方法

発明者： 皿山 正二 ,  岩田 浩和 ,  布施 晃広 ,  荒 邦章 ,  斉藤 淳一
出願人/特許権者： 株式会社リコー ,  核燃料サイクル開発機構
代理人 (1件)： 鳥居 洋
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-231762
公開番号（公開出願番号）：特開2007-045664
出願日： 2005年08月10日
公開日（公表日）： 2007年02月22日
要約：

【課題】 アルカリ金属の外部への蒸発を抑制してIII族窒化物結晶を結晶成長する結晶成長装置を提供する。【解決手段】 反応容器10は、金属Naと金属Gaとの混合融液180を保持する。外部反応容器20は、反応容器10の周囲を覆う。配管30は、反応容器10の下側において外部反応容器20に連結される。ポーラスプラグ40は、反応容器10と外部反応容器20との連結部よりも下側の配管30内に固定される。ガスボンベ120は、圧力調整器110を介して窒素ガスを配管30へ供給する。ポーラスプラグ40および金属融液170は、混合融液180から蒸発した金属Na蒸気の配管30内への拡散を防止するとともに、空間13,21内の圧力と空間31内の圧力との差圧によって配管30内の窒素ガスを空間13,21内へ供給する。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

アルカリ金属とIII族金属とを含む混合融液を保持する反応容器と、 前記反応容器内の前記混合融液に接する容器空間内のアルカリ金属蒸気が外部空間へ流出する経路上に金属融液を表面張力により保持するとともに、外部から供給された窒素原料ガスを前記容器空間と前記外部空間との間の差圧により前記金属融液を介して前記反応容器内へ供給する多孔質部材と、 前記混合融液を結晶成長温度に加熱する加熱装置とを備える結晶成長装置。

IPC (5件)：

C30B 9/00 ,  C30B 29/38 ,  C01B 21/06 ,  H01L 33/00 ,  H01S 5/323

FI (5件)：

C30B9/00 ,  C30B29/38 D ,  C01B21/06 A ,  H01L33/00 C ,  H01S5/323 610

Fターム (15件)：

4G077AA02 ,  4G077BE15 ,  4G077CC04 ,  4G077EA04 ,  4G077EA06 ,  4G077EA08 ,  4G077EG24 ,  4G077HA02 ,  4G077LA01 ,  4G077LA03 ,  4G077LA05 ,  5F041CA40 ,  5F041CA46 ,  5F173AH22 ,  5F173AH41

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 米国特許第5868837号明細書
  
• III族窒化物結晶および結晶成長方法および結晶成長装置およびIII族窒化物半導体デバイス
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-175577   出願人：株式会社リコー