特許
J-GLOBAL ID：200903068476800624
サンプル台、測定対象サンプル、透湿度測定装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
石島 茂男
, 阿部 英樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-005474
公開番号（公開出願番号）：特開2008-170358
出願日： 2007年01月15日
公開日（公表日）： 2008年07月24日
要約：
【課題】透湿度を正確に測定可能な技術を提供する。【解決手段】本発明のサンプル台30及び測定対象サンプル40に用いる基板41は、透湿度が1×10-1g/m2/日以上のセラミック製である。セラミック製の基板41は、樹脂基板とは異なり、変形し難く、機械的強度も高いので、基板41自身や、基板41上に形成された測定対象膜42に破損や変形が生じにくい。しかも、セラミック製の基板41は透湿度が変化しないので、測定対象膜42の透湿度を正確に求めることができる。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
透湿度測定装置用のサンプル台であって、
リング状の載置環と、前記載置環の内側の開口よりも平面形状が大きく、透湿度が1×10-1g/m2/日以上のセラミック製の基板とを有するサンプル台。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N15/08 C
, G01N15/00 C
