特許
J-GLOBAL ID：200903068515139302
表面欠陥検査装置
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
北村 修一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-148535
公開番号（公開出願番号）：特開2007-316019
出願日： 2006年05月29日
公開日（公表日）： 2007年12月06日
要約：
【課題】被検査物が曲面体であっても十分な明るさをもった撮影画像が確保でき、より信頼性の高い表面欠陥検査が可能となる表面欠陥検査装置を提供する【解決手段】複数の発光素子30を有する照明部3と、この照明部3による照射光によって照明された被検査面を撮像する撮像カメラ4と、撮像カメラ4の出力信号を評価して被検査面における欠陥を検知する欠陥評価手段とを備えた表面欠陥検査装置。照明部3が、内側に所定形状の暗面を残すレイアウトパターンでかつその照射光軸Ixが撮像カメラのカメラ光軸Cxに対して平行となるように発光素子30aを配列している主照明部3Aと、その照射光軸Ixがカメラ光軸Cxに対して交差するように発光素子30bを配置している補助照明部3Bとからなる。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
複数の発光素子を有する照明部と、前記照明部による照射光によって照明された被検査面を撮像する撮像カメラと、前記撮像カメラの出力信号を評価して前記被検査面における欠陥を検知する欠陥評価手段とを備えた表面欠陥検査装置において、
前記照明部が、内側に所定形状の暗面を残すレイアウトパターンでかつその照射光軸が前記撮像カメラのカメラ光軸に対して平行となるように前記発光素子を配列している主照明部と、その照射光軸が前記撮像カメラのカメラ光軸に対して交差するように前記発光素子を配置している補助照明部とからなり、かつ前記補助照明部の発光素子の指向特性が前記主照明部の発光素子の指向特性より高いことを特徴とする表面欠陥検査装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (13件)：
2G051AA89
, 2G051AB12
, 2G051AC19
, 2G051BA01
, 2G051BB01
, 2G051CA04
, 2G051CB01
, 2G051EA11
, 2G051EA14
, 2G051EA21
, 2G051EB01
, 2G051ED01
, 2G051ED09
出願人引用 (2件)
-
表面欠陥検査装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願2004-105450
出願人：ダイハツ工業株式会社
-
表面欠陥検査装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願2004-376401
出願人：ダイハツ工業株式会社
前のページに戻る
