特許
J-GLOBAL ID：200903005620786222

表面欠陥検査装置

発明者：
石川 千恵

石川 千恵 について

, 
岩田 真理

岩田 真理 について


出願人/特許権者：
ダイハツ工業株式会社

ダイハツ工業株式会社 について


代理人 (1件)： 北村 修一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-105450
公開番号（公開出願番号）：特開2005-291844
出願日： 2004年03月31日
公開日（公表日）： 2005年10月20日
要約：
【課題】内側に所定形状の暗面を残すように発光素子を連続的に配置させたレイアウトパターンを複数組み合わせて構成された照明部を用いた場合でも、欠陥の誤検出が出来るだけ抑制される表面検査装置を提供する。【解決手段】内側に所定形状の暗面を残すように発光素子を連続的に配置させた照明部による照射光によって照明された被検査面を撮像画面を評価して前記被検査面における欠陥を検知する欠陥評価手段6を備え、この欠陥評価手段が、被検査面の明暗画像における孤立した突出輝度領域を欠陥候補と判定する孤立点抽出部63と、明暗画像における発光素子の発光像を示す領域に含まれる欠陥候補を欠陥候補から除外する欠陥候補選別部64を有している表面欠陥検査装置。【選択図】 図3
請求項（抜粋）：
内側に所定形状の暗面を残すように発光素子を連続的に配置させたレイアウトパターンを複数組み合わせて構成された照明部と、前記照明部による照射光によって照明された被検査面を撮像する撮像カメラと、前記撮像カメラの出力信号を評価して前記被検査面における欠陥を検知する欠陥評価手段とから構成され、 前記欠陥評価手段が、前記出力信号から生成された前記被検査面の明暗画像における孤立した突出輝度領域を欠陥候補と判定する孤立点抽出部と、前記明暗画像における前記連続配置された発光素子の発光像を示す領域に含まれる前記欠陥候補を欠陥候補から除外する欠陥候補選別部を備えていることを特徴とする表面欠陥検査装置。
IPC (1件)：
G01N21/88
FI (1件)：
G01N21/88 Z
Fターム (16件)：
2G051AA89 ,  2G051AB07 ,  2G051AB12 ,  2G051BA01 ,  2G051BA02 ,  2G051CA04 ,  2G051CB01 ,  2G051DA06 ,  2G051EA11 ,  2G051EA12 ,  2G051EA14 ,  2G051EB01 ,  2G051EC01 ,  2G051ED03 ,  2G051ED04 ,  2G051ED21
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (7件)
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