特許
J-GLOBAL ID：200903068589072811
製造データ解析方法及びそれをコンピュータに実行させるプログラム
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
土井 健二
, 林 恒徳
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-350968
公開番号（公開出願番号）：特開2004-186374
出願日： 2002年12月03日
公開日（公表日）： 2004年07月02日
要約：
【課題】実際に加工処理される単位で、製造物検査データの変動要因を抽出することができる製造データ解析方法を提供する。【解決手段】複数の製造工程が複数の製造設備により行われて製造される製造物の製造データの解析方法において、製造物の同時処理単位についての前記製造工程及び製造設備に関する特徴データと、前記特徴データに関する製造履歴データとに基づいて、前記製造物の検査データにあらわれる特徴度を順次抽出する工程と、前記特徴度を大きさの順に出力する工程とを有する。実際に製造物が加工処理される製造設備及び加工メカニズムにおける同時処理単位、処理位置、処理時間を考慮して、検査データの特徴度を抽出するので、検査データに直接影響を与えた要因を正確に把握することができ、歩留まり向上のために的確な対策を講じることが可能になる。【選択図】図6
請求項（抜粋）：
複数の製造工程が複数の製造設備により行われて製造される製造物の製造データの解析方法において、
前記製造物の同時処理単位についての前記製造工程及び製造設備に関する特徴データと、前記特徴データに関する製造履歴データとに基づいて、前記製造物の検査データにあらわれる特徴度を抽出する工程と、
前記特徴度を大きさの順に出力する工程とを有することを特徴とする製造データの解析方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L21/02 Z
, G06F17/60 106
