特許
J-GLOBAL ID：200903068637581820
マイクロ流路の作製方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
茂見 穰
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-041400
公開番号（公開出願番号）：特開2005-230647
出願日： 2004年02月18日
公開日（公表日）： 2005年09月02日
要約：
【課題】 プロセスを簡素化し、多種多様な機能性微細構造物を流路内に容易に且つ安価に作製できるようにする。【解決手段】 ガラス基板10の表面に、圧子により押圧力を印加することで微細な応力影響残留部16を形成し、ウエットエッチングすることにより、応力影響残留部とそれ以外の部分とのエッチングレートの違いを利用して、流路22内に機能性微細構造24を形成する。微細構造は、流路と同時に形成することもできるし、別々に形成することもできる。流路は、微細構造と同様、ガラス基板の表面の流路形成領域の輪郭に沿って線状の応力影響残留部を形成し、エッチングで形成するのが好ましい。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
ウエットエッチングによって第1ガラス基板の表面に開放型流路を形成し、該開放型流路を第2ガラス基板で覆ってパイプ状流路を形成し、該パイプ状流路内に機能性微細構造を形成するマイクロ流路の作製方法であって、
前記機能性微細構造については、前記第1ガラス基板及び/又は前記第2ガラス基板の表面に、圧子により押圧力を印加することで微細な応力影響残留部を形成し、その後ウエットエッチングすることにより、前記応力影響残留部とそれ以外の部分とのエッチングレートの違いを利用して形成することを特徴とするマイクロ流路の作製方法。
IPC (4件)：
B01J19/00
, B81B1/00
, B81C1/00
, C03C15/00
B01J19/00 321
, B81B1/00
, B81C1/00
, C03C15/00 Z
4G059AA08
, 4G059AB01
, 4G059BB04
, 4G059BB14
, 4G075AA13
, 4G075AA39
, 4G075BA10
, 4G075BD01
, 4G075BD15
, 4G075DA02
, 4G075EE03
, 4G075FA05
, 4G075FB06
出願人引用 (3件)
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マイクロチャンネル構造
公報種別：公開公報
出願番号：特願2000-185481
出願人：財団法人神奈川科学技術アカデミー
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フィルター
公報種別：公開公報
出願番号：特願2001-035674
出願人：大日本印刷株式会社
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液体混合機構
公報種別：公開公報
出願番号：特願2002-023445
出願人：ミノルタ株式会社
審査官引用 (3件)
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