特許
J-GLOBAL ID：200903068702832658
保護膜形成装置及び保護膜形成方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小池 晃 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-058034
公開番号（公開出願番号）：特開平10-249264
出願日： 1997年03月12日
公開日（公表日）： 1998年09月22日
要約：
【要約】【課題】 保護膜を所定の膜厚に形成するとともに、基板の全体にわたって均一の膜厚で保護膜を形成する保護膜形成装置及び保護膜形成方法を提案する。【解決手段】 本発明にかかる保護膜形成装置6は、中心穴を有する円盤状記録媒体2が載置され、円盤状記録媒体2を回転させるターンテーブル7と、ターンテーブル7の略中心に形成されている中心穴に挿入される中心軸と、略中心部に上記中心軸が配設され、少なくとも円盤状記録媒体の中心穴を被う円板部とからなる回転円板8とを有する。また、保護膜形成方法は、円盤状記録媒体2の中心穴よりも径の大きい円板部を有する回転円板8によって、少なくとも円盤状記録媒体8の中心穴を覆い、回転円板8の中心部に保護膜材料9を供給するとともに、当該保護膜材料9を円盤状記録媒体2及び回転円板8を回転駆動して広げることにより、円盤状記録媒体2上に保護膜を形成する。
請求項（抜粋）：
円盤状記録媒体上に樹脂を供給して、円盤状記録媒体を回転させることにより樹脂を円盤状記録媒体の全面に塗布する保護膜形成装置において、中心穴を有する円盤状記録媒体が載置され、円盤状記録媒体を回転させるターンテーブルと、上記ターンテーブルの略中心に形成されている中心穴に挿入される中心軸と、略中心部に上記中心軸が配設され、少なくとも円盤状記録媒体の中心穴を覆う円板部とからなる回転円板とを有することを特徴とする保護膜形成装置。
IPC (5件)：
B05C 11/08
, B05D 1/40
, G11B 5/84
, G11B 7/26 531
, G11B 11/10 541
B05C 11/08
, B05D 1/40 A
, G11B 5/84 B
, G11B 7/26 531
, G11B 11/10 541 F
