特許
J-GLOBAL ID：200903068724574334
薄膜形成装置用部材およびその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 順三 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-006759
公開番号（公開出願番号）：特開平10-204604
出願日： 1997年01月17日
公開日（公表日）： 1998年08月04日
要約：
【要約】【課題】 部材表面に付着堆積する薄膜の剥離、飛散の軽減に有効な薄膜形成装置用部材を提案すること。【手段】 金属製基材を覆う溶射被覆表面が、格子状の凹凸によって形造られていることが特徴である。このような溶射被覆表面の格子状凹凸形状は、凹部の最大幅(D)が1〜5mm、凸部の幅(W)が5〜100mm、および凹部の深さ(T)が1〜5mmの範囲内にあり、そして凸部表面の粗さは5〜60μmの範囲内にある。
請求項（抜粋）：
金属製基材を覆う溶射被覆表面が、格子状の凹凸にて形造られていることを特徴とする薄膜形成装置用部材。
IPC (2件)：
FI (2件)：
引用特許：
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