特許
J-GLOBAL ID:200903068730261542
電子放出源の製造方法、電子放出源及び蛍光発光型表示器
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
大塚 秀一
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-249151
公開番号(公開出願番号):特開2001-043792
出願日: 1999年07月30日
公開日(公表日): 2001年02月16日
要約:
【要約】【課題】 カーボンナノチューブ、フラーレン、ナノパーティクル、ナノカプセル及びカーボンナノホーンの中の少なくとも一つを有するカーボン材料を用いて、廉価にして、低電圧駆動で高効率な電子放出を可能にすること。【解決手段】 絶縁基板101、カソード導体102及びカーボンナノチューブを含むペースト状カーボン層を積層形成した後、乾燥、焼成する。次に、カーボン層に刃で筋入れを行うことにより、筋の壁部302からカーボンナノチューブが露出したエミッタ301を形成する。その後、リブ状ゲート電極404を形成することにより電子放出源が完成する。
請求項(抜粋):
絶縁基板と、前記絶縁基板上に形成されたカソード導体と、前記カソード導体に電気的に接続して形成されたエミッタと、前記エミッタから離間して配設されたゲート電極とを備えて成る電子放出源の製造方法において、前記絶縁基板に前記カソード導体を被着する工程と、前記カソード導体に、カーボンナノチューブ、フラーレン、ナノパーティクル、ナノカプセル及びカーボンナノホーンの中の少なくとも一つを有するカーボン材料を含むペースト材料を被着してカーボン層を形成する工程と、前記カーボン層内に複数の壁部を形成することにより前記カーボン層を形成するカーボン材料を露出させて前記エミッタを形成する工程と、前記エミッタから離間する位置に前記ゲート電極を形成する工程とを備えて成ることを特徴とする電子放出源の製造方法。
IPC (4件):
H01J 9/02
, H01J 1/304
, H01J 29/04
, H01J 31/12
FI (4件):
H01J 9/02 B
, H01J 29/04
, H01J 31/12 C
, H01J 1/30 F
Fターム (6件):
5C031DD09
, 5C031DD19
, 5C036EF01
, 5C036EF06
, 5C036EG02
, 5C036EG12
引用特許:
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