静電チャックの電極構造、この組み立て方法、この組み立て治具及び処理装置

発明者： , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：浅井章弘 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-189108
公開番号（公開出願番号）：特開平7-074234
出願日： 1994年06月06日
公開日（公表日）： 1995年03月17日
要約：

【要約】【目的】静電チャックシートに対して差圧を付与させないようにした静電チャックの電極構造を提供する。【構成】サセプタ6の載置面に被処理体Wを吸着保持する静電チャックシート4を設け、これに反対側に位置する給電ピン24から電圧を印加させる電極構造において、上記サセプタに給電孔82を貫通させて形成し、この孔内に絶縁部材86を介在させて給電補助ピン80を取り付け固定する。そして、このピンの一端に上記給電ピンを接触させ、他端に静電チャックシートの導電膜8を接触させる。これにより、サセプタの表側と裏面側の通気を断つ。

請求項（抜粋）：

サセプタの載置面に被処理体を静電力で吸着保持するための静電チャックシートを設けてなる静電チャックの前記静電チャックシートに、前記サセプタの載置面の反対面側に位置する給電ピンから電圧を印加させる電極構造において、前記サセプタの厚さ方向に貫通させて形成された給電孔と、前記給電孔の内壁との間で絶縁部材を介在させて設けられた給電補助ピンとを備え、前記給電補助ピンの一端に前記給電ピンを接触させると共に他端に前記静電チャックシートを接触させるように構成したことを特徴とする静電チャックの電極構造。

IPC (3件)：

H01L 21/68 , B23Q 3/15 , H02N 13/00

引用特許：

審査官引用 (14件)

静電チヤツク及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-303490 出願人：ソニー株式会社
静電チヤツク
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-305346 出願人：東京エレクトロン株式会社
特開平4-147643

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