静電ミラーを含む荷電粒子ビーム画像化装置用低プロフィル電子検出器を使用して試料を画像化するための方法および装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：中村稔 (外9名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-135864
公開番号（公開出願番号）：特開2002-025492
出願日： 2001年05月07日
公開日（公表日）： 2002年01月25日
要約：

【要約】【課題】本発明は、荷電粒子ビーム画像化デバイスを使用して試料を画像化することに関する。【解決手段】荷電粒子ビーム法および装置は、一次電子ビームを使用して試料を照射し、試料が、試料の形状的構造および材料的構造それぞれに関する情報を有する二次および後方散乱電子の放出を誘起するようにする。この試料は、検査されるべき物品である。試料から放出された電子は、電子ミラーの電界中で偏向され、装置の電子検出器で検出される。この電子ミラーは、機器の光軸近くを走行する二次電子の検出ができるようにし、また二次電子の収差を修正する。更に、この電子ミラーは、電子を加速し、電子検出器の検出効率を改善し、また二次電子収集の飛行時間のばらつき特性を向上させる。電子検出器の表面上への、電子の降着方向を更に制御するため、第2の電子ミラーを用いることができる。

請求項（抜粋）：

荷電粒子ビーム装置における試料を画像化するための方法であって、(a) 前記試料に電子の放出を引き起こす段階と、(b) 前記放出された電子を、電子ミラーを使用して偏向する段階と、(c) 前記試料の画像を作成するために前記偏向された放出された電子を使用する段階と、を含むことを特徴とする方法。

IPC (3件)：

H01J 37/244 , G01N 23/225 , G21K 5/04

FI (3件)：

H01J 37/244 , G01N 23/225 , G21K 5/04 M

Fターム (16件)：

2G001AA03 , 2G001BA07 , 2G001BA15 , 2G001CA03 , 2G001DA01 , 2G001DA06 , 2G001DA09 , 2G001DA10 , 2G001GA06 , 2G001KA03 , 2G001LA11 , 2G001MA05 , 5C033NN01 , 5C033NN02 , 5C033NN10 , 5C033NP08

引用特許：

審査官引用 (6件)

走査電子顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-205940 出願人：日本電子株式会社
特開平3-179655
電子検出器
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-153534 出願人：オパールテクノロジーズリミティド

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