特許
J-GLOBAL ID：200903068872600700
マスフローコントローラの校正方法及びその装置
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-173811
公開番号（公開出願番号）：特開2004-020306
出願日： 2002年06月14日
公開日（公表日）： 2004年01月22日
要約：
【課題】本発明のマスフローコントローラの校正方法及びその装置は、MFCが高い供給精度と応答性を有するよう、効率的に校正できるMFCの校正方法及び装置を提供することを目的としている。【解決手段】本発明のマスフローコントローラの校正方法は、ガス流体を流す流体通路に介設され、駆動信号により弁開度を制御する流量制御弁と該ガス流体の流量を流量信号として出力するセンサ部を備えたマスフローコントローラの校正方法であって、該ガス流体の流量を流量信号として出力する流量計の流量信号に基づいて所定のガス流量となるように駆動信号を調整し、得られたマスフローコントローラの流量特性に基づいて駆動信号の出力パターンを制御する制御定数を算出する工程と、流量計とマスフローコントローラのセンサ部で所定のガス流量を測定し、得られた流量計とマスフローコントローラの検出特性に基づいて、マスフローコントローラの検出特性の補正量を算出する工程とを有することを特徴としている。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
ガス流体を流す流体通路に介設され、駆動信号により弁開度を制御する流量制御弁と該ガス流体の流量を流量信号として出力するセンサ部を備えたマスフローコントローラの校正方法であって、
該ガス流体の流量を流量信号として出力する流量計の流量信号に基づいて所定のガス流量となるように駆動信号を調整し、得られたマスフローコントローラの流量特性に基づいて駆動信号の出力パターンを制御する制御定数を算出する工程と、
流量計とマスフローコントローラのセンサ部で所定のガス流量を測定し、得られた流量計とマスフローコントローラの検出特性に基づいて、マスフローコントローラの検出特性の補正量を算出する工程と
を有することを特徴とするマスフローコントローラの校正方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
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