特許
J-GLOBAL ID：200903060404630146

ガス配管系の検定システム

発明者：
林本 茂

林本 茂 について

, 
籠橋 宏

籠橋 宏 について


出願人/特許権者：
シーケーディ株式会社

シーケーディ株式会社 について


代理人 (1件)： 岡戸 昭佳 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-017153
公開番号（公開出願番号）：特開平9-184600
出願日： 1996年01月05日
公開日（公表日）： 1997年07月15日
要約：
【要約】【課題】 実プロセスガスを用いて高精度にマスフローコントローラの流量検定ができるガス配管系の検定システムを提供すること。【解決手段】 ガスライン23A、23Bにはそれぞれ上流側から遮断弁25A、25B、マスフローコントローラ27A、27B、遮断弁29A、29Bが備えられて合流し、そこに圧力センサ11が設けられ、そして遮断弁21を介してプロセスチャンバ37に至る。圧力センサ11の取付位置を一旦排気してから遮断弁21を閉じ、そして遮断弁25Aを開くと、プロセスガスAの流入により圧力センサ11の指示値が上昇し、その上昇速度により流量検定がなされる。圧力センサ11の取付位置を気密状態にしたときの圧力センサ11の指示値の変動を見れば遮断弁の漏れも検定できる。
請求項（抜粋）：
第1遮断弁とその下流側のマスフローコントローラとその下流側の終段遮断弁とを備えたガスラインを経由してプロセスガス源からプロセスチャンバにプロセスガスを供給するガス配管系の検定を行うシステムにおいて、前記終段遮断弁の入側位置での圧力を計測する圧力計を有し、前記第1遮断弁を開いて前記終段遮断弁を閉じ、前記マスフローコントローラを通して前記終段遮断弁の上流側にプロセスガスを導入したときの圧力上昇を前記圧力計で測定することにより前記マスフローコントローラの流量を検定することを特徴とするガス配管系の検定システム。
IPC (4件)：
F17D 5/00 ,  F16K 37/00 ,  F17D 3/00 ,  H01L 21/02
FI (4件)：
F17D 5/00 ,  F16K 37/00 J ,  F17D 3/00 ,  H01L 21/02 Z
引用特許：
審査官引用 (4件)
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