特許
J-GLOBAL ID:200903068901997194
半導体光デバイス、半導体発光素子および半導体変調素子
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (5件):
長谷川 芳樹
, 塩田 辰也
, 寺崎 史朗
, 柴田 昌聰
, 近藤 伊知良
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-276180
公開番号(公開出願番号):特開2004-111881
出願日: 2002年09月20日
公開日(公表日): 2004年04月08日
要約:
【課題】ガリウム、インジウム、窒素、砒素及びアンチモンを含みより優れた結晶性を有するIII-V族化合物半導体層を含む半導体光デバイスを提供する。【解決手段】半導体発光素子1は、GaAs半導体基板3の主面3a上に設けられている半導体積層部5を備える。半導体積層部5は、第1のIII-V族化合物半導体層7と、第2のIII-V族化合物半導体層9とを備える。第1のIII-V族化合物半導体層7は、ガリウム、砒素及びアンチモンを含む。第2のIII-V族化合物半導体層9は、ガリウム、インジウム、窒素、砒素及びアンチモンを含む。第1のIII-V族化合物半導体層7は、GaAs半導体基板3上に設けられている。第2のIII-V族化合物半導体層9は、第1のIII-V族化合物半導体層7上に設けられている。【選択図】 図2
請求項(抜粋):
GaAs半導体基板上に設けられ、ガリウム、砒素及びアンチモンを含む第1のIII-V族化合物半導体層と、
前記第1のIII-V族化合物半導体層上に設けられ、ガリウム、インジウム、窒素、砒素及びアンチモンを含む第2のIII-V族化合物半導体層と
を備える、半導体光デバイス。
IPC (3件):
H01S5/343
, H01S5/20
, H01S5/323
FI (3件):
H01S5/343 610
, H01S5/20 610
, H01S5/323 610
Fターム (8件):
5F073AA04
, 5F073AA45
, 5F073AA73
, 5F073AA76
, 5F073AA77
, 5F073CA02
, 5F073CA07
, 5F073CA20
引用特許:
引用文献:
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