特許
J-GLOBAL ID：200903068922879400
半導体生産シミュレーション方法および半導体生産シミュレーションプログラム
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
船橋 國則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-332919
公開番号（公開出願番号）：特開2005-100092
出願日： 2003年09月25日
公開日（公表日）： 2005年04月14日
要約：
【課題】生産システムの構築において、オペレータの負荷を考慮したシミュレーション計算を行うこと。【解決手段】複数の搬送手段に自走式搬送装置とオペレータが含まれること、および自走式搬送装置が複数の小エリアのいずれかに対応して移動できること、ならびに複数の処理装置が自走可能であって複数の小エリアのいずれかに対応して移動できることを条件として、生産エリア内での移動における最適値をコンピュータで計算し、生産エリア内における複数の処理装置のレイアウトをコンピュータによってシミュレーション計算する工程(ステップS101〜103)と、複数の搬送手段のうちオペレータの数および複数の小エリアの各々への割り当てをパラメータとして設定し、小エリア毎のオペレータの移動に関わる負荷をコンピュータによって計算する工程(ステップS105〜106)とを備えている。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
計算上の生産エリアに関する情報、前記生産エリアを区分けした複数の小エリアに関する情報、複数の処理装置に関する情報、複数の搬送手段に関する情報、半導体製品の製造工程に関する情報を用いて前記生産エリア内における複数の処理装置のレイアウトおよび前記複数の搬送手段の移動ならびにオペレータの人員配置による負荷をコンピュータでシミュレーション計算する半導体生産シミュレーション方法において、
前記複数の搬送手段に自走式搬送装置と前記オペレータが含まれること、および前記自走式搬送装置が前記複数の小エリアのうちいずれかに対応して移動できること、ならびに前記複数の処理装置が自走可能であって前記複数の小エリアのうちいずれかに対応して移動できることを条件とした上で、前記半導体製品の製造工程に関する情報から各製造工程での処理を順次進める間に前記複数の処理装置および前記複数の搬送手段の前記生産エリア内での移動における最適値を前記コンピュータで計算し、前記生産エリア内における前記複数の処理装置のレイアウトを前記コンピュータによってシミュレーション計算する工程と、
前記シミュレーション計算によって得た複数の処理装置のレイアウトにおいて、前記複数の搬送手段のうち前記オペレータの数および前記複数の小エリアの各々への人数の割り当てをパラメータとして設定し、前記小エリア毎の前記オペレータに関わる負荷を前記コンピュータによって計算する工程と
を備えることを特徴とする半導体生産シミュレーション方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G05B19/418 Z
, G06F17/60 108
