特許
J-GLOBAL ID:200903068965159079
金属表面の酸化膜厚さ測定方法
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (4件):
吉武 賢次
, 永井 浩之
, 岡田 淳平
, 勝沼 宏仁
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2005-165278
公開番号(公開出願番号):特開2006-337310
出願日: 2005年06月06日
公開日(公表日): 2006年12月14日
要約:
【課題】 酸化膜が形成される前に重量や表面積を評価することを必要とせず、また、酸化膜形成後も、重量の評価や、切断、研磨をすることなく、局所的な領域、または広い範囲の領域における酸化膜厚さを簡便にかつ非破壊的に測定することができる方法を得ること。【解決手段】 金属表面に生成する酸化膜の厚さに対応する輝度を有する複数のスケール1を、表面に酸化膜が形成された測定対象物2に隣接して配置し、上記測定対象物の表面輝度を上記スケールの輝度と照合し、上記測定対象物の表面輝度と一致する輝度を有するスケールを選定することにより、酸化膜の厚さを検出する。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
金属表面に生成する酸化膜の厚さに対応する輝度を有する複数のスケールを、表面に酸化膜が形成された測定対象物に隣接して配置し、上記測定対象物の表面輝度を上記スケールの輝度と照合し、上記測定対象物の表面輝度と一致する輝度を有するスケールを選定することにより、酸化膜の厚さを検出することを特徴とする、金属表面の酸化膜厚さ測定方法。
IPC (4件):
G01B 11/06
, B21C 51/00
, G01N 21/27
, G21C 17/06
FI (4件):
G01B11/06 H
, B21C51/00 P
, G01N21/27 A
, G21C17/06 D
Fターム (20件):
2F065AA30
, 2F065BB08
, 2F065CC31
, 2F065FF41
, 2F065FF61
, 2F065JJ03
, 2F065JJ19
, 2F065JJ26
, 2F065QQ17
, 2F065QQ25
, 2G059AA10
, 2G059BB08
, 2G059CC20
, 2G059EE02
, 2G059FF01
, 2G059KK04
, 2G075CA38
, 2G075DA14
, 2G075FA11
, 2G075GA14
引用特許:
審査官引用 (5件)
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特開平4-013910
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膜厚測定装置および膜厚測定方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願2003-100330
出願人:三菱レイヨン株式会社
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膜厚測定装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平5-156494
出願人:日本電気株式会社
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特開平2-310405
-
膜厚測定方法及びその装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2001-356284
出願人:オムロン株式会社
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