特許

J-GLOBAL ID：200903068976531034

吸着固定用シート

発明者： 飯田 博之 ,  長井 陽三 ,  森山 順一 ,  矢野 周治 ,  橘 俊光
出願人/特許権者： 日東電工株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-170821
公開番号（公開出願番号）：特開平9-022935
出願日： 1995年07月06日
公開日（公表日）： 1997年01月21日
要約：

【要約】【目的】 液晶用ガラス板や半導体ウェハの精密切断、液晶用ガラス板や半導体ウェハの精密塗工、偏光板と位相差板あるいはこれらとガラス板との精密貼り合わせ等を吸着固定法により行う場合に用いる吸着固定用シートを提供する。【構成】 プラスチック多孔質シートから成り、摩擦係数が0.3以下であり、且つ、摩耗量が0.1mm以下であることを特徴とするシートである。

請求項（抜粋）：

摩擦係数が0.3以下であり、且つ、摩耗量が0.1mm以下であるプラスチック多孔質シートから成る吸着固定用シート。

IPC (7件)：

H01L 21/68 ,  B28D 7/04 ,  C08J 9/24 ,  G02F 1/13 101 ,  H01L 21/301 ,  C08L 23:04 ,  C08L 77:02

FI (5件)：

H01L 21/68 P ,  B28D 7/04 ,  C08J 9/24 ,  G02F 1/13 101 ,  H01L 21/78 M

引用特許：

出願人引用 (5件)

• 特開昭63-256325
  
• 低発塵性の装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-334738   出願人：株式会社ニコン
• ポリアミド樹脂組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-205810   出願人：日本合成ゴム株式会社
• 搬送アーム
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-319060   出願人：東京エレクトロン株式会社, 東京エレクトロン山梨株式会社
• ウエハ保持装置及びウエハ収納カセット
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-072069   出願人：大日本スクリーン製造株式会社

審査官引用 (5件)

• 特開昭63-256325
  
• 低発塵性の装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-334738   出願人：株式会社ニコン
• ポリアミド樹脂組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-205810   出願人：日本合成ゴム株式会社
• 搬送アーム
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-319060   出願人：東京エレクトロン株式会社, 東京エレクトロン山梨株式会社
• ウエハ保持装置及びウエハ収納カセット
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-072069   出願人：大日本スクリーン製造株式会社