特許
J-GLOBAL ID：200903068995268034
テープ検査装置および方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
金田 暢之 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-182061
公開番号（公開出願番号）：特開2001-015562
出願日： 1999年06月28日
公開日（公表日）： 2001年01月19日
要約：
【要約】【課題】 インナーリードの中心位置とインナーバンプの中心位置の相対的な位置ずれ量を正確に求め、短時間でテープキャリアの合否を判定を行う。【解決手段】 テープ100をガラス板55、56で挟み込み保持し、向かい合うように設置されているカメラ51、52を用いてテープ100の両側からインナーリードの先端部の画像およびインナーバンプの画像を撮影し、カメラ51の画像上のインナーリードの中心位置と、カメラ53の画像上のインナーバンプの中心位置とに基づいて、インナーリードの中心位置とインナーバンプの中心位置の相対的な位置ずれ量を求め、位置ずれ量が規定値を越えている場合はテープ100を不合格とする。
請求項（抜粋）：
半導体パッケージの基材として用いられるテープキャリア上に配線された金属箔であるインナーリードと、半導体チップに接合される箇所に設けられた貫通穴に金属を充填することによって形成された金属突起物であるインナーバンプとの接合状態を検査するテープ検査装置において、前記テープキャリアの両面を撮影可能な状態で保持するテープ保持手段と、前記インナーリードの先端部のうち前記インナーバンプと接合されている先端部を前記テープキャリアの表面のうち前記インナーリードが配線されている面から撮影する第1のカメラと、前記テープキャリアの表面のうち前記インナーリードが配線されている面を照らし出す第1の照明とを有するインナーリード認識手段と、前記テープキャリアの表面のうち前記インナーリードが配線されている面とは逆の面から前記インナーリードの先端部と接合される前記インナーバンブを撮影するために前記第1のカメラと向かい合うようにして設置され前記第1のカメラと相対位置関係が不変である第2のカメラと、前記テープキャリアの表面のうち前記インナーリードが配線されている面とは逆の面を照らし出す第2の照明とを有するインナーバンプ認識手段と、前記第1のカメラおよび前記第2のカメラで撮影された画像データを取り込み、前記第1のカメラで撮影された画像上における前記インナーリードの先端部の中心位置を算出し、前記第2のカメラで撮影された画像上における前記インナーバンプの中心位置を算出し、前記インナーリードの先端部の中心位置および前記インナーバンプの中心位置に基づいて前記インナーリードの先端部の中心位置と前記インナーバンブの中心位置との位置ずれ量を算出し、前記位置ずれ量が規定値以内である場合は前記テープキャリアを合格とし、前記位置ずれ量が前記規定値を越えている場合は前記テープキャリアを不合格とする判定処理手段と、前記テープ保持手段と、前記インナーリード認識手段と、前記インナーバンプ認識手段と、前記判定処理手段とを制御する制御手段とから構成されることを特徴とするテープ検査装置。
IPC (2件)：
H01L 21/60 311
, H01L 21/66
H01L 21/60 311 W
, H01L 21/66 J
4M106AA20
, 4M106AB15
, 4M106AD24
, 4M106BA04
, 4M106CA39
, 4M106DB04
, 4M106DB19
, 4M106DC02
, 4M106DC03
, 4M106DH07
, 4M106DJ11
, 4M106DJ17
, 4M106DJ18
, 4M106DJ20
, 5F044MM00
, 5F044MM03
, 5F044MM25
, 5F044MM31
