特許
J-GLOBAL ID：200903069107345774
ポジ型感光性樹脂組成物
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-252685
公開番号（公開出願番号）：特開2000-199958
出願日： 1999年09月07日
公開日（公表日）： 2000年07月18日
要約：
【要約】【課題】アルカリ現像可能で高感度な感光性樹脂組成物を提供する。【解決手段】(a)構造単位間の結合が一般式(1)で表されるような構造単位を主成分とするポリマーと(b)光酸発生剤を含有しており、光照射及びそれにつづく現像によってパターン形成可能であり、上記ポリマー1g中に含まれる全カルボキシル基が、0.02mmol以上2.0mmol以下であることを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物。【化1】(R1は少なくとも2個以上の炭素原子を有する3価から8価の有機基、R2は、少なくとも2個以上の炭素原子を有する2価から6価の有機基、R3は水素、または炭素数1から20までの有機基を示し、すべて水素であることはない。nは3から100000までの整数、mは1または2、p、qは0から4までの整数を示し、かつp+q>0である。)
請求項（抜粋）：
(a)構造単位間の結合が一般式(1)で表されるような構造単位を主成分とするポリマーと(b)光酸発生剤を含有しており、光照射及びそれにつづく現像によってパターン形成可能であり、上記ポリマー1g中に含まれる全カルボキシル基が、0.02mmol以上2.0mmol以下であることを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物。【化1】(R1は少なくとも2個以上の炭素原子を有する3価から8価の有機基、R2は、少なくとも2個以上の炭素原子を有する2価から6価の有機基、R3は水素、または炭素数1から20までの有機基を示し、すべて水素であることはない。nは3から100000までの整数、mは1または2、p、qは0から4までの整数を示し、かつp+q>0である。)
IPC (5件)：
G03F 7/037 501
, C08L 79/08
, G03F 7/022
, G03F 7/039 501
, H01L 21/027
G03F 7/037 501
, C08L 79/08 A
, G03F 7/022
, G03F 7/039 501
, H01L 21/30 502 R
