特許
J-GLOBAL ID：200903069150374559
液体供給装置及び液体供給装置におけるパ-ジ方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
長谷川 芳樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-009251
公開番号（公開出願番号）：特開2000-205499
出願日： 1999年01月18日
公開日（公表日）： 2000年07月25日
要約：
【要約】【課題】 成膜用液体材料の貯蔵容器を交換する場合のパージ作業を容易化且つ確実化するための手段を提供すること。【解決手段】 本発明は、貯蔵容器22の液体供給口に取外し可能に接続された供給用配管34と、貯蔵容器の圧送ガス取入れ口に取外し可能に接続された圧送用配管40と、供給用配管及び圧送用配管の間を連通するバイパス配管66と、供給用配管にパージガスを供給するパージガス供給手段46,48と、供給用配管内を真空引きする真空引き手段とを備える液体供給装置において、前記真空引き手段を、所定の真空度に内部が減圧されるよう構成され且つ圧送用配管に接続された真空容器94を備えたものとしたことを特徴としている。この構成においては、真空ポンプ等の真空排気装置を直接配管に接続せずに、真空容器を用いて配管内の真空引きを短時間且つ安定的に行うことができる。
請求項（抜粋）：
交換式貯蔵容器に貯蔵された液体材料を使用先に供給するための液体供給装置であって、前記貯蔵容器の液体供給口に取外し可能に接続され、前記貯蔵容器内の液体材料を使用先に供給する供給用配管と、前記貯蔵容器の圧送ガス取入れ口に取外し可能に接続され、前記貯蔵容器内に圧送ガスを導入して前記供給用配管を通して液体材料を圧送させる圧送用配管と、前記供給用配管及び前記圧送用配管の間を連通するバイパス配管と、前記供給用配管にパージガスを供給するパージガス供給手段と、前記供給用配管内を真空引きする真空引き手段と、を備え、前記真空引き手段が、所定の真空度に内部が減圧されるよう構成され且つ前記圧送用配管に接続された真空容器を備えていることを特徴とする液体供給装置。
IPC (2件)：
F17C 13/00 302
, F17C 9/00
F17C 13/00 302 D
, F17C 9/00 A
3E073AA01
, 3E073AB08
, 3E073DB03
