特許
J-GLOBAL ID：200903069197676146
ガス置換用排気装置とその運転方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
熊谷 隆 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-284553
公開番号（公開出願番号）：特開平7-119633
出願日： 1993年10月18日
公開日（公表日）： 1995年05月09日
要約：
【要約】【目的】 パ-ジ用ガスを排気系統にのみ流すことによって低コストで作業効率のよいガス置換用排気装置とその運転方法を提供すること。【構成】 混合してはいけない2種類以上のガスが交互に供給される反応室5に接続されたガス置換用排気装置であって、パイプ6、主仕切弁7、真空ポンプ8から成り、反応室5のガスをパイプ6、主仕切弁7を通して真空ポンプ8で排気する系統の排気系を設け、パ-ジ用ガスを流すために、パ-ジ用ガスを制御するパ-ジ用弁10を有するパイプ9を排気系の主仕切弁7と真空ポンプ8の間に接続し、パ-ジ用ガスを主仕切弁7以降の排気系に流すようにした。
請求項（抜粋）：
混合してはいけない2種類以上のガスが交互に供給される反応室に接続されたガス置換用排気装置であって、パイプ、主仕切弁、真空ポンプから成り、前記反応室のガスを該パイプ、主仕切弁を通して真空ポンプで排気する系統の排気系を設け、前記排気系の主仕切弁と真空ポンプとの間にパージ用ガスを流すパイプを接続し、該パイプにパージ用ガスを制御するパ-ジ用弁を設けたことを特徴とするガス置換用排気装置。
引用特許：
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