工具の製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：石田敬 (外4名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-580032
公開番号（公開出願番号）：特表2003-534926
出願日： 2001年04月24日
公開日（公表日）： 2003年11月25日
要約：

【要約】被覆研磨工具の表面は、高速造形技術により製造したマスター工具を用いて得られる製造工具を利用すると、従来よりも融通性のある加工をすることができる。

請求項（抜粋）：

(a)高速造形技術を利用してマスター工具を製造すること; (b)このマスター工具を利用して製造工具を製造すること; (c)この製造工具を利用して、研磨粒子が分散した硬化性結合剤樹脂層に所望のパターンを与えること; (d)この硬化性結合剤樹脂を硬化させて、加工表面を有する被覆研磨工具を製造すること、を含む、加工表面を有する被覆研磨工具の製造方法。

IPC (2件)：

B24D 3/00 340 , B24D 3/28

FI (2件)：

B24D 3/00 340 , B24D 3/28

Fターム (10件)：

3C063AA01 , 3C063AB01 , 3C063BB01 , 3C063BB02 , 3C063BB03 , 3C063BC03 , 3C063CC19 , 3C063CC20 , 3C063CC24 , 3C063CC30

引用特許：

出願人引用 (6件)

研磨用品の製造方法
公報種別：公表公報出願番号：特願平6-516131 出願人：ミネソタ・マイニング・アンド・マニュファクチュアリング・カンパニー
特開平2-307732
半導体ウェーハの露出面を改質する方法
公報種別：公表公報出願番号：特願平9-512915 出願人：ミネソタ・マイニング・アンド・マニュファクチャリング・カンパニー

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審査官引用 (4件)

研磨用品の製造方法
公報種別：公表公報出願番号：特願平6-516131 出願人：ミネソタ・マイニング・アンド・マニュファクチュアリング・カンパニー
特開平2-307732
特開平2-307732

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