特許

J-GLOBAL ID：200903069203442845

多層皮膜被覆部材及びその製造方法

発明者： 石川 剛史
出願人/特許権者： 日立ツール株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-320235
公開番号（公開出願番号）：特開2007-126714
出願日： 2005年11月04日
公開日（公表日）： 2007年05月24日
要約：

【課題】皮膜の更なる高硬度化と耐摩耗性を向上させ、耐熱性を改善して温度上昇よる摩耗増大を抑制した硬質皮膜を提供することである。更に、該硬質皮膜を複数層被覆した多層皮膜被覆部材、及びその製造方法を提供することである。【解決手段】基材表面に組成が異なる硬質皮膜を2層以上被覆した多層皮膜被覆部材であって、該硬質皮膜は少なくとも硬質皮膜A及び硬質皮膜Bを有し、該硬質皮膜Aは、Si(BuCvNwOz)で示され、但し、u、v、w、zは各元素の原子%、u>0、v>0、w>0、z≧0、u+v+w+z=1、を満足する硬質皮膜、該硬質皮膜Bは、Al、Ti、Cr、Nb、Mo、W、Zr、V、Siから選択される2種以上とB、C、N、O、Sから選択される1種以上を有する硬質皮膜であることを特徴とする多層皮膜被覆部材である。【選択図】 なし

請求項（抜粋）：

基材表面に組成が異なる硬質皮膜を2層以上被覆した多層皮膜被覆部材であって、該硬質皮膜は少なくとも硬質皮膜A及び硬質皮膜Bを有し、該硬質皮膜Aは、Si(BuCvNwOz)で示され、但し、u、v、w、zは各元素の原子%、u>0、v>0、w>0、z≧0、u+v+w+z=1、を満足する硬質皮膜、該硬質皮膜Bは、Al、Ti、Cr、Nb、Mo、W、Zr、V、Siから選択される2種以上とB、C、N、O、Sから選択される1種以上を有する硬質皮膜であることを特徴とする多層皮膜被覆部材。

IPC (1件)：

C23C 14/06

FI (2件)：

C23C14/06 N ,  C23C14/06 P

Fターム (27件)：

3C046FF09 ,  3C046FF10 ,  3C046FF11 ,  3C046FF13 ,  3C046FF16 ,  4K029AA02 ,  4K029AA04 ,  4K029BA23 ,  4K029BA35 ,  4K029BA53 ,  4K029BA54 ,  4K029BA56 ,  4K029BA58 ,  4K029BB02 ,  4K029BC02 ,  4K029BD05 ,  4K029CA04 ,  4K029CA05 ,  4K029CA06 ,  4K029DC03 ,  4K029DC04 ,  4K029DC05 ,  4K029DC34 ,  4K029DC35 ,  4K029DD06 ,  4K029EA01 ,  4K029FA05

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 自己修復性高耐熱耐酸化性皮膜及び積層体
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-276767   出願人：三菱重工業株式会社
• 硬質被膜、硬質被覆部材及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-306899   出願人：住友電気工業株式会社
• 特許第3370291号公報
  

審査官引用 (1件)

• 硬質皮膜
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-360269   出願人：日立ツール株式会社

引用文献：

審査官引用 (1件)

• J.Mater.Chem., 2005, VOL.15, P.2188-2192