特許

J-GLOBAL ID：200903069255043566

熱型赤外線検出素子およびその製造方法並びに該熱型赤外線検出素子を備えた撮像装置

発明者： 出口 治彦 ,  吉岡 智良 ,  薦田 智久
出願人/特許権者： シャープ株式会社
代理人 (1件)： 原 謙三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-012441
公開番号（公開出願番号）：特開2002-214035
出願日： 2001年01月19日
公開日（公表日）： 2002年07月31日
要約：

【要約】【課題】 安価かつ簡素な構成にて素子抵抗の安定化を図ることができる熱型赤外線検出素子を提供する。【解決手段】 遷移金属の酸化物を含む酸化物膜からなり、赤外線を吸収して抵抗値が変化する熱抵抗変化膜3を酸素と不活性ガスとの混合ガス雰囲気下で成膜した後、引き続き不活性ガス雰囲気下で、上記熱抵抗変化膜3を覆うように、少なくとも表面が金属からなる導電性の保護膜4を成膜し、その後、加工処理を施す。このようにして得られた熱型赤外線検出素子は、熱抵抗変化膜3と、該熱抵抗変化膜3に接続される配線金属膜5との接続部に、上記熱抵抗変化膜3における上記配線金属膜5との接続部を覆う、少なくとも表面が金属からなる導電性の保護膜4が配されている。

請求項（抜粋）：

遷移金属の酸化物を含む酸化物膜からなり、赤外線を吸収して抵抗値が変化する熱抵抗変化膜と、上記熱抵抗変化膜と電気的に接続される配線金属膜とを備えた熱型赤外線検出素子において、上記熱抵抗変化膜における配線金属膜との接続部が、該接続部が大気中に暴露されない条件下で成膜された、少なくとも表面が金属からなる導電性膜で被覆されていることを特徴とする熱型赤外線検出素子。

IPC (5件)：

G01J 1/02 ,  G01J 5/02 ,  G01J 5/48 ,  H01L 27/14 ,  H04N 5/33

FI (5件)：

G01J 1/02 C ,  G01J 5/02 C ,  G01J 5/48 A ,  H04N 5/33 ,  H01L 27/14 K

Fターム (31件)：

2G065AA04 ,  2G065AB02 ,  2G065BA12 ,  2G065BA34 ,  2G065BB24 ,  2G065BC11 ,  2G065BC28 ,  2G065BC33 ,  2G065BC35 ,  2G065CA12 ,  2G065CA13 ,  2G065DA18 ,  2G066BA09 ,  2G066BA55 ,  2G066BB07 ,  2G066BB09 ,  2G066BC07 ,  2G066BC21 ,  2G066CA02 ,  4M118AA10 ,  4M118AB01 ,  4M118BA30 ,  4M118CA15 ,  4M118CA19 ,  4M118CA34 ,  4M118CB14 ,  4M118CB20 ,  4M118EA20 ,  4M118GA10 ,  5C024AX06 ,  5C024CY47

引用特許：

出願人引用 (4件)

• マイクロブリッジ構造の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-231346   出願人：日本電気株式会社
• 赤外線センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-265703   出願人：日本電気株式会社
• 特開昭57-186130
  
• 特開昭56-004205
  

審査官引用 (6件)

• マイクロブリッジ構造の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-231346   出願人：日本電気株式会社
• 赤外線センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-265703   出願人：日本電気株式会社
• 特開昭57-186130
  
• 特開昭57-186130
  
• 特開昭56-004205
  
• 特開昭56-004205