特許

J-GLOBAL ID：200903069301134202

液浸露光用液体および液浸露光方法

発明者： 宮松 隆 ,  根本 宏明 ,  王 勇
出願人/特許権者： JSR株式会社
代理人 (1件)： 和気 操
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2005009128
公開番号（公開出願番号）：WO2005-114711
出願日： 2005年05月19日
公開日（公表日）： 2005年12月01日
要約：

液浸露光方法において、屈折率が大きく、フォトレジスト膜あるいはその上層膜成分の溶出や溶解を防ぎ、レジストパターンの生成時の欠陥を抑えることができる液浸露光用液体およびその液体を用いた液浸露光方法の提供を目的とする。 投影光学系のレンズと基板との間に満たされた液体を介して露光する液浸露光装置または液浸露光方法に用いられる液体であって、該液体は、液浸露光装置が作動する温度領域において液状であり、脂環式炭化水素化合物または珪素原子を環構造中に含む環式炭化水素化合物である。

請求項（抜粋）：

投影光学系のレンズと基板との間に満たされた液体を介して露光する液浸露光装置または液浸露光方法に用いられる液体であって、該液体は、前記液浸露光装置が作動する温度領域において液体であり、脂環式炭化水素化合物または珪素原子を環構造中に含む環式炭化水素化合物を含む液体であることを特徴とする液浸露光用液体。

IPC (1件)：

H01L 21/027

FI (1件)：

H01L21/30 515D

Fターム (1件)：

5F046CB01

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 投影露光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-341445   出願人：株式会社ニコン
• 投影露光方法及び装置
  公報種別：再公表公報   出願番号：JP1999001262   出願人：株式会社ニコン
• 液浸型露光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-121757   出願人：株式会社ニコン