特許
J-GLOBAL ID：200903069309708011
導電性ボールの移載装置および移載方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
滝本 智之 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-259609
公開番号（公開出願番号）：特開平11-097486
出願日： 1997年09月25日
公開日（公表日）： 1999年04月09日
要約：
【要約】【課題】 導電性ボールのピックアップミスを解消し、確実に導電性ボールをワークの電極上に移載することができる導電性ボールの移載装置および移載方法を提供することを目的とする。【解決手段】 ボール供給部10内に貯溜された導電性ボール7を、押し上げプレート14により押し上げて、吸着ヘッド31の吸着孔31aの配列に対応して形成されたガイド孔18aを有するガイドプレート18に対して下方から押しつける。ガイド孔18a内に受け入れられた導電性ボール7を、ガイドプレート18をに振動を与えてガイドプレート18の上面に導出する。この導電性ボール7を吸着ヘッド31に吸着させることにより、各吸着孔31aに1個づつの導電性ボール7が正しく真空吸着され、吸着孔31a以外の位置に導電性ボール7が余分に付着することがない。
請求項（抜粋）：
下面に導電性ボールを吸着する複数の吸着孔が形成された吸着ヘッドと、導電性ボールを供給するボール供給部と、ワークを位置決めする位置決め部と、前記吸着ヘッドを上下動させる上下動手段と、前記吸着ヘッドをボール供給部と位置決め部の間を移動させる移動手段とを備え、前記ボール供給部に、このボール供給部の上部に設けられ前記吸着ヘッドの吸着孔が形成された位置に対応して形成された複数の導電性ボールのガイド孔を有するガイドプレートと、ボール供給部内の導電性ボールを前記ガイド孔内に下方から送り込むボール送り込み手段と、前記ガイドプレートを振動させる振動手段とを設けたことを特徴とする導電性ボールの移載装置。
IPC (5件)：
H01L 21/60 311
, H01L 21/60
, B23P 21/00 305
, B23Q 3/08
, H01L 23/12
H01L 21/60 311 S
, B23P 21/00 305 B
, B23Q 3/08 A
, H01L 21/92 604 H
, H01L 21/92 604 Z
, H01L 23/12 L
