レジスト剥離剤

発明者： , ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-044903
公開番号（公開出願番号）：特開2002-244310
出願日： 2001年02月21日
公開日（公表日）： 2002年08月30日
要約：

【要約】【課題】優れたレジスト剥離性を示すとともに、銅配線を侵さないレジスト剥離剤を提供する。【解決手段】銅配線プロセスにおいて、N-(2-ヒドロキシエチル)ピペラジン及び/又はN-アルキル-N’-(2-ヒドロキシエチル)ピペラジンを必須成分とするレジスト剥離剤を使用する。

請求項（抜粋）：

銅配線プロセスに使用するレジストを剥離する剥離剤であって、N-(2-ヒドロキシエチル)ピペラジン及び/又はN-アルキル-N’-(2-ヒドロキシエチル)ピペラジンを必須成分とするレジスト剥離剤。

IPC (3件)：

G03F 7/42 , H01L 21/027 , H01L 21/3205

FI (3件)：

G03F 7/42 , H01L 21/30 572 B , H01L 21/88 M

Fターム (7件)：

2H096AA00 , 2H096AA25 , 2H096LA03 , 5F033HH11 , 5F033QQ20 , 5F033XX18 , 5F046MA02

引用特許：

審査官引用 (10件)

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