特許
J-GLOBAL ID：200903037808071726
ポジ型レジスト用剥離液
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
服部 平八
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-024970
公開番号（公開出願番号）：特開平7-219240
出願日： 1994年01月28日
公開日（公表日）： 1995年08月18日
要約：
【要約】【構成】含窒素有機ヒドロキシ化合物からなるレジスト剥離用組成物に、分子中に水酸基を有しないカルボキシル基含有有機化合物を配合してなるポジ型レジスト用剥離液【効果】剥離性に優れるとともに剥離性の経時的変化もなく安定性がよく、かつアルミニウムや銅等の金属材料を腐食しないという効果を奏する。
請求項（抜粋）：
含窒素有機ヒドロキシ化合物からなるレジスト剥離用組成物に、カルボキシル基含有有機化合物を配合してなることを特徴とするポジ型レジスト用剥離液。
IPC (2件)：
引用特許：
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