特許
J-GLOBAL ID：200903069440385090

青紫レーザー感光性組成物

発明者：
利光 恵理子

利光 恵理子 について

, 
水上 潤二

水上 潤二 について


出願人/特許権者：
三菱化学株式会社

三菱化学株式会社 について


代理人 (1件)： 長谷川 曉司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-238699
公開番号（公開出願番号）：特開2005-122123
出願日： 2004年08月18日
公開日（公表日）： 2005年05月12日
要約：
【課題】 レジスト画像形成のために用いた場合において、青紫レーザー光に対する感度、及び現像性に優れると共に、レジスト加工後のレジスト画像の剥離、除去が容易となる感光性組成物であって、特に、青紫レーザー光による直接描画に用いるに好適な青紫レーザー感光性組成物を提供する。【解決手段】 下記の(A)成分、(B)成分、(C)成分、及び(D)成分を含有する青紫レーザー感光性組成物。 (A)エチレン性不飽和カルボン酸類、アルキル(メタ)アクリレート類、及びスチレン類に由来する各構成繰返し単位を含むカルボキシル基含有共重合体 (B)エチレン性不飽和化合物 (C)光重合開始剤 (D)355〜430nmの波長域に吸収極大を有する増感色素
請求項（抜粋）：
下記の(A)成分、(B)成分、(C)成分、及び(D)成分を含有してなることを特徴とする青紫レーザー感光性組成物。 (A)エチレン性不飽和カルボン酸類、アルキル(メタ)アクリレート類、及びスチレン類に由来する各構成繰返し単位を含むカルボキシル基含有共重合体 (B)エチレン性不飽和化合物 (C)光重合開始剤 (D)355〜430nmの波長域に吸収極大を有する増感色素
IPC (5件)：
G03F7/033 ,  C08F2/50 ,  G03F7/004 ,  G03F7/027 ,  H01L21/027
FI (5件)：
G03F7/033 ,  C08F2/50 ,  G03F7/004 503Z ,  G03F7/027 502 ,  H01L21/30 502R
Fターム (39件)：
2H025AA01 ,  2H025AA04 ,  2H025AB15 ,  2H025AB16 ,  2H025AB17 ,  2H025AC01 ,  2H025AC08 ,  2H025AD01 ,  2H025BC32 ,  2H025BC42 ,  2H025BC51 ,  2H025CA01 ,  2H025CA27 ,  2H025CA28 ,  2H025CA41 ,  2H025CB10 ,  2H025CB13 ,  2H025CB14 ,  2H025CB16 ,  2H025FA03 ,  2H025FA17 ,  4J011AA05 ,  4J011AC04 ,  4J011BB01 ,  4J011BB02 ,  4J011HA04 ,  4J011HB17 ,  4J011HB28 ,  4J011PA22 ,  4J011PA65 ,  4J011PA69 ,  4J011PB40 ,  4J011QA03 ,  4J011RA03 ,  4J011SA21 ,  4J011SA62 ,  4J011SA82 ,  4J011SA83 ,  4J011UA02
引用特許：
出願人引用 (8件)
全件表示
審査官引用 (7件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM