特許
J-GLOBAL ID：200903069480206210

エッチングの終点検出方法およびエッチングの終点検出装置

発明者：
山根 徹也

山根 徹也 について


出願人/特許権者：
ソニー株式会社

ソニー株式会社 について


代理人 (1件)： 杉浦 正知
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-212110
公開番号（公開出願番号）：特開平10-041283
出願日： 1996年07月23日
公開日（公表日）： 1998年02月13日
要約：
【要約】【課題】 エッチングの終点検出を安定して行うことができるエッチングの終点検出方法およびエッチングの終点検出装置を提供する。【解決手段】 タングステンシリサイド/多結晶シリコン構造や多結晶シリコン/酸化シリコン構造をドライエッチングする場合に、337nmの波長の発光をモニターし、その発光強度が大きく変化するときをもってタングステンシリサイド膜25や多結晶シリコン膜24のエッチングの終点とする。405nmの波長の発光も同時にモニターし、337nmの波長の発光とこの405nmの波長の発光とを併用してエッチングの終点検出を行ってもよい。
請求項（抜粋）：
エッチング時の発光をモニターすることによりエッチングの終点検出を行うようにしたエッチングの終点検出方法において、ほぼ337nmの波長の発光をモニターすることによりエッチングの終点検出を行うようにしたことを特徴とするエッチングの終点検出方法。
IPC (2件)：
H01L 21/3065 ,  C23F 4/00
FI (2件)：
H01L 21/302 E ,  C23F 4/00 F
引用特許：
審査官引用 (4件)
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