特許
J-GLOBAL ID：200903069510349216
荷電粒子線露光装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
永井 冬紀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-064827
公開番号（公開出願番号）：特開平10-261565
出願日： 1997年03月18日
公開日（公表日）： 1998年09月29日
要約：
【要約】【課題】 試料の温度が変化してもスループットを低下させることなく高精度なパターン露光を行うことができる荷電粒子線露光装置の提供。【解決手段】 温度計測器6により計測された試料3の温度と位置測定器5,座標カウンタ9により測定された試料3のステージ位置座標とに基づいて、試料3の露光時ステージ位置座標を座標変換装置8により常温時ステージ位置座標に変換する。そして、座標変換装置8により得られた常温時ステージ位置座標に露光すべきパターンが露光時ステージ位置座標に露光されるように、描画制御装置11により荷電粒子線光学系を制御する。これにより、露光されたパターンは、試料3が常温に戻った時に常温時ステージ位置座標となる。
請求項（抜粋）：
ステージに載置された試料上にパターンを荷電粒子光学系により露光する荷電粒子線露光装置において、前記試料の温度を計測する温度計測手段と、前記試料のステージ位置座標を測定するステージ座標測定手段と、前記試料の露光時ステージ位置座標を常温時ステージ位置座標に変換する座標変換手段と、常温時ステージ位置座標に露光すべきパターンが前記露光時ステージ位置座標に露光されるように前記荷電粒子線光学系を制御する露光制御手段とを備えることを特徴とする荷電粒子線露光装置。
IPC (3件)：
H01L 21/027
, G03F 7/20 504
, G03F 7/20 521
H01L 21/30 541 C
, G03F 7/20 504
, G03F 7/20 521
, H01L 21/30 541 P
, H01L 21/30 541 K
