特許
J-GLOBAL ID：200903069527219707

石英ガラスるつぼの製造方法

発明者：
秋保 和尋

秋保 和尋 について

, 
楠原 昌樹

楠原 昌樹 について

, 
渡部 弘行

渡部 弘行 について

, 
宇野 智靖

宇野 智靖 について


出願人/特許権者：
株式会社楠和クオルツ

株式会社楠和クオルツ について


代理人 (1件)： 田中 香樹 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-080257
公開番号（公開出願番号）：特開2001-233629
出願日： 2000年03月22日
公開日（公表日）： 2001年08月28日
要約：
【要約】【課題】 高熱負荷においても石英ガラスるつぼ内に閉じ込められた気泡が破裂しないようにして引上げ時の単結晶化を阻害しないようにすること。【解決手段】 モールド1内で原料粉を溶解するとき、アーク放電開始直後にH2 ガスやO2 ガスを導入して、電極のグラファイト成分や、原料の石英粉中の不純物を除去する。これによってグラファイトや不純物が製品るつぼに混入するのを抑制でき、結果的に気泡の膨張率を抑制すると共に、気泡内を減圧することができる。また、モールド1内に形成された石英粉の堆積層にモールド1からHeガスを供給して堆積層のボイド中のガスをHeガスで置換することができる。このボイド中のガスの置換によって、不透明層の気泡を膨張しにくくして熱伝導性の低下を防止できるので、使用時にるつぼの温度上昇を抑制でき、結果的に透明層の気泡の破裂を防止することができる。
請求項（抜粋）：
回転するモールド内でグラファイト電極間のアーク放電によって石英粉を溶融し、るつぼ成型する石英ガラスるつぼの製造方法において、前記モールド内にH2 、O2 、H2 O、He、Neガスのうち少なくとも1種類を供給する段階と、供給された前記ガスの雰囲気中を通過させて前記モールド内表面に石英粉を供給する段階とからなることを特徴とする石英ガラスるつぼの製造方法。
IPC (3件)：
C03B 20/00 ,  C30B 15/10 ,  C30B 29/06 502
FI (3件)：
C03B 20/00 H ,  C30B 15/10 ,  C30B 29/06 502 B
Fターム (6件)：
4G014AH08 ,  4G077AA02 ,  4G077BA04 ,  4G077CF10 ,  4G077HA12 ,  4G077PD02
引用特許：
出願人引用 (9件)
全件表示
審査官引用 (10件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM