特許
J-GLOBAL ID：200903008322219039
単結晶引き上げ用大口径石英るつぼの製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中村 稔 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-057924
公開番号（公開出願番号）：特開平9-249484
出願日： 1996年03月14日
公開日（公表日）： 1997年09月22日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】 内径22インチ以上という大口径の石英るつぼに供給される大熱量のもとでも変形が少なく、実用上問題を生じない石英るつぼとそのの製造方法を提供すること。【解決手段】 回転するガス透過性モールドの内周面に沿って2酸化ケイ素粉末を充填し、2酸化ケイ素粉末の充填層を内面側から加熱溶融し、その間にモールドの壁を通じて吸引排気を行ないなから半透明外側層の基体を形成する。半透明外側層の形成と同時又はその後に、基体の内側に高温ガス雰囲気を形成し、この高温ガス雰囲気中に合成2酸化ケイ素粉末を供給して、少なくとも部分的に溶融させ、基体の内面に向けて飛散させて該内面に付着させることにより所定厚さの実質的に無気泡の透明内側層を形成する。
請求項（抜粋）：
気泡含有量が大きい半透明外側層と実質的に無気泡の透明内側層とからなり、内径が22インチ以上の単結晶引き上げ用大口径石英るつぼを製造する方法であって、回転するガス透過性モールドの内周面に沿って2酸化ケイ素粉末を充填し、該2酸化ケイ素粉末の充填層を内面側から加熱溶融し、その間に前記モールドの壁を通じて吸引排気を行ないなから前記半透明外側層の基体を形成し、前記半透明外側層の形成と同時又はその後に、前記基体の内側に高温ガス雰囲気を形成し、この高温ガス雰囲気中に2酸化ケイ素粉末を供給して、該2酸化ケイ素粉末を該高温ガス雰囲気中で少なくとも部分的に溶融させ、前記基体の内面に向けて飛散させて該内面に付着させることにより所定厚さの実質的に無気泡の前記透明内側層を形成する、ことからなる内径が22インチ以上の単結晶引き上げ用大口径石英るつぼを製造する方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
引用特許：
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