マイクロ電気機械システムスイッチ

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：中村稔 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-194082
公開番号（公開出願番号）：特開平11-144596
出願日： 1998年07月09日
公開日（公表日）： 1999年05月28日
要約：

【要約】【課題】RFスイッチを、アレイ状に構成可能なマイクロ電気機械スイッチとして形成し、マイクロ電気機械スイッチアレイを形成する。【解決手段】MEMSを回路基板上に形成する。回路基板により回転可能に支えられたピンでピボット点を決める。剛体ビーム又は伝送線路の中心部をピン上に置き、シーソーを形成する。剛体ビームとシーソーにより信頼性低下要因のビームへの捻れと曲げの力が除かれる。スイッチは、例えばHBTとHEMTでできた他のモノリシックマイクロ波集積回路に集積されるようになっており、適当なポリマー層例えばポリイミドでそうした回路と分離させることで、他の回路とモノリシックに集積できる。ビームを全て金属で作れば、スイッチの挿入損失が二酸化珪素や混合金属の接点を使う場合より減り、スイッチ感度が上がりRFスイッチング製品に使用できる。

請求項（抜粋）：

RFスイッチにおいて、回路基板と、ピボット点を形成する前記回路基板により回転可能に支えられるピンと、前記ピボット点に置かて第一位置と第二位置の間に前記ビームが回転可能させるビームと、前記回路基板と前記ビームにより支えられる少なくとも一対の電気的接点と、前記第一位置と前記第二位置の間で前記ビームを回転させる静電気力を印可電圧の関数の形で作り出すために所定の電圧を受け取る少なくとも一つの界磁プレートとを含むことを特徴とするRFスイッチ。

引用特許：

審査官引用 (2件)

微細電気機械スイッチ
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-082436 出願人：ロックウェル・インターナショナル・コーポレイション
可動片ブロック
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-286647 出願人：オムロン株式会社

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