プラズマ処理装置用部品

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-359174
公開番号（公開出願番号）：特開2002-164326
出願日： 2000年11月27日
公開日（公表日）： 2002年06月07日
要約：

【要約】【解決手段】化学式(1)で表される繰り返し構造単位を有する耐プラズマ性に優れた熱可塑性ポリイミド樹脂からなるプラズマ処理装置用部品(化学式(1)において、Xは、直接結合、-SO2-、-CO-、-C(CH3)2-、-C(CF3)2-又は-S-であり、R1、R2、R3、R4は、それぞれ水素、アルキル基、アルコシキ基、ハロゲン化アルキル基、ハロゲン化アルコキシ基又はハロゲン基であり、Yは、化学式(2)からなる群より選ばれた1種又は2種以上の基である)。【効果】 ?@耐プラズマ性に優れる。 ?A高温での有機物等の発生ガスがない。?B射出成形や押出し成形性に優れる。 ?C?Bにより加工コストが安く、大量生産性に優れる。 ?D?@〜?Cによりプラズマ処理装置用部品に好適に使用できる。

請求項（抜粋）：

化学式(1)(化1)で表される繰り返し構造単位を有する耐プラズマ性に優れた熱可塑性ポリイミド樹脂からなるプラズマ処理装置用部品(化学式(1)において、Xは、直接結合、-SO2-、-CO-、-C(CH3)2-、-C(CF3)2-又は-S-であり、R1、R2、R3、R4は、それぞれ水素、アルキル基、アルコシキ基、ハロゲン化アルキル基、ハロゲン化アルコキシ基又はハロゲン基であり、Yは、化学式(2)(化1)からなる群より選ばれた1種又は2種以上の基である)。【化1】

IPC (6件)：

H01L 21/3065 , B01J 19/00 , B01J 19/08 , C08G 73/10 , C23C 16/44 , H05H 1/46

FI (6件)：

B01J 19/00 G , B01J 19/08 E , C08G 73/10 , C23C 16/44 B , H05H 1/46 A , H01L 21/302 B

Fターム (34件)：

4G075AA01 , 4G075AA51 , 4G075CA47 , 4G075FB12 , 4G075FC09 , 4G075FC20 , 4J043PA02 , 4J043PA04 , 4J043QB26 , 4J043QB31 , 4J043RA34 , 4J043SA06 , 4J043SB01 , 4J043TA14 , 4J043TA22 , 4J043TB01 , 4J043TB02 , 4J043UA122 , 4J043UA132 , 4J043UA141 , 4J043UA151 , 4J043UB121 , 4J043UB122 , 4J043UB152 , 4J043ZB47 , 4K030FA01 , 4K030KA46 , 4K030LA11 , 5F004AA16 , 5F004BB29 , 5F004BD04 , 5F004DA17 , 5F004DA23 , 5F004DA26

引用特許：

審査官引用 (12件)

プラズマCVD装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-358855 出願人：グンゼ株式会社
ポリイミド
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-272937 出願人：三井化学株式会社
特開平4-351665

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